Разработка и исследование устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием и минимальным дестабилизирующим воздействием на вакуумную среду оборудования высоких технологий

• Автор: Кузнецов, Павел Сергеевич
• Шифр специальности: 05.27.06
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2012
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 219 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА Е ПРИМЕНЕНИЕ УСТРОЙСТВ С БЕСКОНТАКТНЫМ
МАГНИТНЫМ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕМ В ВАКУУМНОМ
ОБОРУДОВАНИИ ВЫСОКИХ ТЕХНОЛОГИЙ
1Л. Создание сверхчистой вакуумной среды в оборудовании высоких
технологий
1.2. Обзор и анализ вакуумного технологического и аналитического оборудования с функциональными устройствами бесконтактного магнитного взаимодействия
1.3. Конструктивные особенности вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием
1.4. Материалы вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием
1.5. Цель и задачи исследований
ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ УСТРОЙСТВ С
БЕСКОНТАКТНЫМ МАГНИТНЫМ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕМ ДЛЯ ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ С КОНТРОЛИРУЕМОЙ СРЕДОЙ
2.1. Классификация устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного технологического и
аналитического оборудования
2.2. Оценка устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием вакуумного оборудования по уровню загрязнений, привносимых микрочастицами
2.3. Влияние магнитного поля на поведение микрочастиц в вакууме
2.4. Г азовыделение из вакуумных устройств с бесконтактным
магнитным взаимодействием
2.5. Расчёт и выбор шарикоподшипников для вакуумных устройств
с бесконтактным магнитным взаимодействием

2.6. Расчёт зазоров в опорах качения устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, работающих в вакууме при повышенных температурах
2.7. Выбор типа электродвигателя для приводов функциональных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием
2.8. Исследование возможности проведения масштабирования при переходе от размера 125 х 125 мм к размеру 1000х 1000 мм объектов в вакуумном оборудовании нанесения тонких плёнок с магнитными системами
Выводы по главе
ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ И
МОДЕЛИРОВАНИЕ УСТРОЙСТВ С БЕСКОНТАКТНЫМ МАГНИТНЫМ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕМ ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ НА ЗАГРЯЗНЕНИЯ, ПРИВНОСИМЫЕ МИКРОЧАСТИЦАМИ И ГАЗОВЫМИ ПОТОКАМИ
3.1. Задачи исследований
3.2. Экспериментальное оборудование
3.3. Экспериментальные исследования микрочастиц из вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием
3.4. Моделирование количества и размеров микрочастиц, образующихся во внутрикамерном устройстве с бесконтактным магнитным взаимодействием
3.5. Экспериментальные исследования и моделирование газовыделения из внутрикамерного устройства с бесконтактным магнитным взаимодействием
3.6. Экспериментальные исследования газопроницаемости тонкостенных герметизирующих элементов вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием
Выводы по главе

ГЛАВА 4. ЭФФЕКТИВНОСТЬ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ РАБОТЫ ПРИ СОЗДАНИИ УСТРОЙСТВ С БЕСКОНТАКТНЫМ МАГНИТНЫМ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕМ ДЛЯ ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ ВЫСОКИХ ТЕХНОЛОГИЙ
4.1. Методика инженерного расчёта устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного технологического и аналитического оборудования
4.2. Вводы движения в вакуум с бесконтактным магнитным взаимодействием
4.3. Вакуумные передачи с бесконтактным магнитным взаимодействием
4.4. Внутрикамерные функциональные устройства
4.5. Направления дальнейших исследований
Выводы по главе
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА
ПРИЛОЖЕНИЯ
Приложение 1. Копии Патентов РФ и Свидетельств РФ
о государственной регистрации программы для ЭВМ
Приложение 2. Акты внедрения результатов работы

Рис.1.2.8. Вакуумно-кинематическая схема рентгенолитографической установки совмещения и экспонирования: 1 - вакуумная система; 2 - анод; 3
магнитожидкостной ввод вращения; 4 - электроннооптической система; 5 - сетка; 6 - мембрана; 7 -заслонка; 8 - микроскоп; 9 - рентгеношаблон; 10 -пластина