Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках
- Автор:
Кравченко, Анатолий Анатольевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2012
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
173 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Обоснование и разработка прецизионного способа двухстороннего шлифования свободным абразивом пластин кремния большого диаметра | Яковлев, Сергей Петрович | 2001 |
| Эпитаксия твердых растворов AIIIBV с микро- и наноструктурой в поле температурного градиента | Сысоев, Игорь Александрович | 2010 |
| Получение и свойства кристаллов LiNa₅Mo₉O₃₀ | Сухарев, Виктор Александрович | 2019 |