Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках
- Автор:
Кравченко, Анатолий Анатольевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2012
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
173 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование нарушений структуры кремния, возникающих при химико-механическом полировании | Макаров, Антон Сергеевич | 2000 |
| Разработка реактора эпитаксиального наращивания одиночных подложек и исследование в нем теплофизических и физико-механических процессов | Миркурбанов, Халит Абдулгазизович | 2005 |
| Принципы формирования и свойства фотоэлектрических преобразователей с ультратонким поглощающим слоем | Вишникин, Евгений Викторович | 2006 |