Структурно-морфологические особенности нитрида алюминия в зависимости от условий получения

• Автор: Четвергов, Михаил Владимирович
• Шифр специальности: 05.27.06
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 142 с.

ШЕДШИЕ
"ЛАВА I. НИТРИД АЛЮМИНИЯ И МЕТОДЫ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ
1.1. КРИСТАЛЛОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НИТРИДА АЛЮМИНИЯ
1.1 Л. Физико-химические свойства нитрида алюминия
1.1.2. Структура и электрофизические свойства нитрида алюминия
1.2. СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ СЛОЕВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ В КВАЗИРАВНОВЕСНЫ X УСЛОВИЯХ
1.2.1. Метод сублимации
1.2.2. Химическое осаждение из газовой фазы
1.3. СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ СЛОЕВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ В НЕРАВНОВЕСНЫХ УСЛОВИЯХ
1.3.1. Молекулярно-лучевая эпитаксия
1.3.2. Ионно-плазменное осаждение
1.4. СВОЙСТВА СЛОЕВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ
1.4.1. Состав слоев
1.4.2. Структура слоев-
1.4.3. Механические свойства
1.4.4. Оптические свойства
1.4.5. Электрические свойства
1.4.6. Пьезоэлектрические свойства
1.4.7. Химические свойства
1.5. ВЫВОДЫ
"ЛАВА II. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ СИНТЕЗА 1ИТРИДА АЛЮМИНИЯ
2.1. ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ БАЗА ПОЛУЧЕНИЯ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ И КОМПОЗИЦИЙ AlN-SiC(Al203,Si)
2.2. ОСОБЕННОСТИ ПОЛУЧЕНИЯ A1N В КВАЗИРАВНОВЕСНЫХ УСЛОВИЯХ МЕТОДОМ СУБЛИМАЦИИ
2.2.1. Термодинамика системы A1N-N2
2.2.2. Зависимость морфологии поверхности растущего кристалла от термодинамических условий проведения процесса
2.3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ "ЛАВА III. ОСОБЕННОСТИ РОСТА НИТРИДА АЛЮМИНИЯ ПО МЕХАНИЗМУ ПЖТ
3.1. ПАРАМЕТРЫ РОСТА НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ В МЕТОДЕ СУБЛИМАЦИИ
3.1.1. Общее описание роста A1N по механизму ПЖТ
3.1.2. Определение кинетических коэффициентов нитевидных кристаллов
3.1.3. Определение поверхностных энергий
3.1.4. Полизародышевый рост нитевидных кристаллов нитрида алюминия
3.2. РОСТ СЛОЕВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ НА ПОДЛОЖКАХ КАРБИДА КРЕМНИЯ ПО МЕХАНИЗМУ ПЖТ
3.3. ФАЗОВЫЕ И МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ РОСТА СЛОЕВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ МЕТОДОМ ИХО
3.4. РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
"ЛАВА IV. СТРУКТУРНО-ОРИЕНТАЦИОННЫЕ ОСОБЕННОСТИ 1ЛОЕВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ
4.1. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ РАЗДЕЛА
4.2. СРАВНЕНИЕ РОСТОВОЙ СТРУКТУРНО-ОРИЕНТАЦИОННОЙ УСТОЙЧИВОСТИ ПРИ ПОЛУЧЕНИИ СЛОЕВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ МЕТОДАМИ ИХО И СУБЛИМАЦИИ
4.3. КРИТЕРИЙ РОСТОВОЙ СТРУКТУРНО-ОРИЕНТАЦИОННОЙ УСТОЙЧИВОСТИ ПРИ ЭПИТАКСИИ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ НА КАРБИД КРЕМНИЯ

4.4. РАЗРАБОТКА АЛГОРИТМОВ УПРАВЛЯЕМОГО ПОЛУЧЕНИЯ РЕДКИХ ПОЛИТИПОВ И ГЕТЕРОПОЛИТИПНЫХ КОМПОЗИЦИЙ В 108 СИСТЕМЕ "БЮ-АШ"
4.5. ВЫВОДЫ
"ЛАВА V. СВОЙСТВА И ПРИМЕНЕНИЕ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ
5.1. СВОЙСТВА И ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ СЛОЕВ И 112 НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ
5.2. ПРИМЕНЕНИЕ НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ НИТРИДА 116 АЛЮМИНИЯ В ПРИБОРАХ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ
5.3. ПРИМЕНЕНИЕ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ В ПРИБОРАХ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИКИ
5.4. ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДАТЧИКА “ЖЕСТКОГО” УФ ИЗЛУЧЕНИЯ НА ОСНОВЕ КОМПОЗИЦИИ АМА1203
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

имесей - важнейшая характеристика пленки, которая оказывает решающее ияние на все остальные ее свойства. Главной характеристикой состава енок является соотношение количеств атомов азота и алюминия. В которых, работах: состав оценивают по отношению числа атомов азота пN к слу атомов алюминия пА], т.е. доля азота к=щ/пм- Тогда соединения означают формулой A1N*. В других работах, наоборот, используют обратное ношение. Здесь все данные будут пересчитаны по формуле x=nA]/nN величина я стехиометрического нитрида алюминия к(или х)= [41, 42].
Образование сверхстехиометрических пленок нитрида алюминия т.е. енок, содержащих избыток азота, в литературе не описано.
Доля азота в пленке A1N зависит от его парциального давления во время несения и, естественно, чем больше давление, тем больше доля азота в сенке. Но не только давлением азота определяется его доля в пленке нитрида, »скольку, в случае ионных методов нанесения, пленки нитрида образуются в зультате поглощения ионов азота, а не его молекул, то для процесса роста (трида алюминия более важен ток ионов азота на подложку, юпорциональный ионному току разряда и доле азота в газовой смеси.
Примесями в пленках A1N могут быть элементы, содержащиеся в таточных газах и элементы из деталей арматуры. В пленках, обнаруживается I 5% железа и кислорода до 14%. Доля кислорода была тем больше, чем 1льше давление азота [43].
Аргон в пленку A1N попадает во время их роста в виде энергичных стиц (ионы, отраженные от мишени; атомы, нейтрализованные на »верхности мишени; ионы, ускоренные отрицательным потенциалом »дложки). Поэтому его доля в пленке зависит от потенциала подложки.
Доля аргона в пленках нитрида алюминия растет с увеличением доли ота в пленке и достигает насыщения на уровне 1,5%. По оценке авторов, роятность включения атомов аргона в пленку равна 4% от вероятности лючения азота [44].