Моделирование кинетики испарения летучего компонента из конденсированной фазы

• Автор: Емельянов, Владимир Васильевич
• Шифр специальности: 05.27.06
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Воронеж
• Количество страниц: 129 с. : ил.

Содержание
Введение
Глава 1. Модели поглощения и испарения летучего вещества из
раствора в вакуум без учета влияния гравитационного поля
1.1. Первые опыты по изучению процесса испарения
1.2. Испарение одноатомного газа из раствора в нелетучем растворителе без учета пограничного слоя и влияния
гравитационного поля
1.3. Поглощение одноатомного газа раствором без учета влияния гравитационного поля
1.4. Испарение двухатомных молекул летучего вещества в вакуум
без учета пограничного слоя и влияния гравитационного поля
Глава 2. Испарение одноатомных молекул летучего компонента из слабых растворов в нелетучем растворителе без учета влияния гравитационного поля
2.1. Рассмотрение системы пар-раствор летучего вещества и ограничений при её моделировании
2.2. Рассмотрение модели испарения атомов летучего вещества из раствора без учета влияния гравитационного поля
2.3. Безразмерная реализация модели испарения атомов летучего вещества без учета влияния гравитационного поля
2.4. Обсуждение результатов расчета по модели испарения одноатомных молекул без учета гравитационного поля
2.5. Сравнение результатов расчета данных, полученных из
эксперимента с результатами расчета по предложенной модели
Выводы к главе
Глава 3. Испарение двухатомных молекул летучего компонента из
слабых растворов при отсутствии влияния гравитационного поля
3.1. Модель испарения двухатомных молекул в размерной форме
3.2. Модель испарения двухатомных молекул в безразмерной форме
3.3. Обсуждение результатов испарение двухатомных молекул при отсутствии гравитационного поля
3.4. Общие закономерности процессов испарения атомов и димеров летучего вещества из раствора в нелетучем растворителе
3.5. Сравнение результатов расчета данных, полученных из
эксперимента с результатами расчета по предложенной модели
Выводы к главе
Глава 4. Моделирование испарения летучего вещества из раствора с учетом влияния гравитационного поля
4.1. Влияние гравитационного поля на процесс диффузии летучего компонента
4.2. Испарение летучего вещества из раствора в присутствии гравитационного поля
4.3. Обсуждение результатов при испарении в гравитационном поле
4.4. Численная оценка влияния гравитационного поля на процесс
испарения в реальных системах
Выводы к главе
Глава 5. Применение численных методов при моделировании
процесса испарения
5.1. Метод численного расчета модели испарения летучего
вещества из слоя раствора в поток инертного газа
Выводы к главе
Заключение
Библиографический список использованной литературы

Введение
Актуальность темы. В настоящее время электронные приборы играют важную роль в повседневной жизни каждого человека. Более того, многие из них являются средством развития науки и общества (например, компьютеры, средства связи). С каждым годом к таким приборам и их компонентам предъявляются все более высокие требования. Они должны быть компактными, но высокопроизводительными. В то же время, появляются и новые возможности, усовершенствуются технологии производства
полупроводниковых приборов. В первую очередь это связано с применением компьютеров при разработке приборов, при контроле технологических процессов и т.д. В связи с этим появляется высокая потребность в моделях, которые описывают всю совокупность процессов в производстве приборов микроэлектроники.
В настоящей диссертации рассматривается процесс испарения летучего вещества из раствора в нелетучем растворителе. Этот процесс присутствует во многих технологических операциях полупроводникового производства. В одних случаях это основной, полезный процесс (например, при жидкофазной эпитаксии соединений АгВ в других - это вредный побочный процесс. Но в каждом из этих случаев важно контролировать его. Для этого необходима модель, описывающая процесс испарения.
Испарение летучего вещества из раствора не может существовать само по себе. Оно связано с другими элементарными процессами тепло- и массопереноса. Сюда входят такие явления, как диффузия, конвекция, термокинетика и другие. В диссертации предложена макроскопическая модель испарения мономеров и димеров летучего вещества с учетом влияния гравитационного поля, которая позволяет прогнозировать течение технологических процессов, при создании приборов различных классов, например, приборов квантовой электроники.

Рис.2.4г, Величина концентрации летучего компонента в газе у поверхности испарения в зависимости от времени т и параметра А при 51=1.
и/ф1,А,,«=С)Л)
Рис,2.4д. Величина отношения концентраций летучего компонента в растворе у поверхности испарения и у тыльной поверхности в зависимости от времени т и параметра А при 2?1=1,