Метод и средства контроля за нестационарными процессами, происходящими на поверхности твердых веществ в среде активных газов

• Автор: Ануфриев, Константин Михайлович
• Шифр специальности: 05.11.13
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Орел
• Количество страниц: 126 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Г лава 1 Современные методы исследования веществ и требования к устройствам контроля за процессами, происходящими на границе твердых веществ и активных газов
1.1 Спектроскопические методы контроля за элементным
составом и структурой поверхности твердых веществ
1.1.1 Дифракция медленных электронов
1.1.2 Электронная спектроскопия
1.1.3 Масс-спектроскопия
1.1.4 Сканирующая туннельная микроскопия
1.2 Явления, использующиеся при динамических методах
контроля поверхностных процессов
1.2.1 Адсорбция
1.2.2 Радикалорекомбинационная люминесценция
1.2.3 Динамический эффект гетерогенной химической реакции

Г лава 2 Контроль за нестационарными процессами на границе твердых
веществ и активных газов
2.1 Метод контроля
2.2 Установка для контроля за нестационарными и релаксационными процессами на границе твердых веществ и активных газов, ее элементы и их взаимодействие
Глава 3 Регистрация динамического эффекта гетерогенных химических
реакций
3.1 Метод измерения динамического эффекта реакций на
основе регистрации малых перемещений
3.1.1 Реализация метода
3.1.2 Погрешность измерений

3.2 Метод измерения динамического эффекта реакций на
основе системы магнитного подвеса
3.2.1 Математическая модель системы измерения
3.2.2 Анализ математической модели весов с магнитной
подвеской численными методами
3.2.3 Реализация автоматизированной системы измерений
быстроменяющихся малых сил
3.2.4 Погрешность измерений
Г лава 4 Экспериментальные испытания разработанных метода и
технических средств
4.1 Объекты и методика проведения контроля
4.2 Контроль за процессами, происходящими на поверхности твердых веществ, помещенных в среду диссоциированного водорода
Заключение
Список использованной литературы
Приложение А Рабочее окно программы для исследования системы
магнитного подвеса
Приложение Б Фрагмент блок-диаграммы верхнего иерархического уровня программы для исследования системы магнитного
подвеса
Приложение В Класс С++ - БЖ-фильтр переменного порядка с
равными коэффициентами
Приложение Г Контроль за процессами, происходящими на поверхности твердых веществ, помещенных в среду диссоциированного кислорода
ВВЕДЕНИЕ

Гетерогенные химические реакции, протекающие на границе твердых тел и газов, используют в различных отраслях промышленности, на их основе могут быть созданы высокоэффективные, ресурсосберегающие и малоотходные технологии. Применение гетерогенного катализа позволило синтезировать все соединения азота, необходимые для химической промышленности и производства минеральных удобрений. Процессы гетерогенного катализа нашли широкое применение в нефтехимической промышленности для крекинга нефти, синтеза полимеров, красителей, фармацевтических препаратов и т.д. Важной областью применения гетерогенных химических реакций является также обезвреживание выбросов промышленных предприятий и транспорта.
Процессы, протекающие на поверхности твердых тел в среде активных газов, трудно отнести к сфере интересов какой-либо одной области наук. Их изучают в рамках физической химии, физики полупроводников, физической электроники, гетерогенного катализа, физики плазмы. Эти процессы представляют интерес не только с исследовательской точки зрения, но и с точки зрения практического применения возникающих явлений.
Изучение процессов, протекающих на границе твердого тела и газа, способствует развитию технологии приборов современной микроэлектроники. Это связано с тем, что именно эти процессы определяют наиболее существенные технологические процедуры, такие как ориентированное выращивание пленок, легирование, получение резко неоднородных структур, в частности МОП-структур. Особое значение это приобретает в последнее время, в связи с переходом на субмикронные технологии в производстве кристаллов интегральных схем высокой степени интеграции.
Существует много различных способов исследования как самих процессов, протекающих на границе твердых тел и газов, так и поверхности

на временных интервалах до 100 с. При этом необходимо обеспечить автоматическую регистрацию динамического эффекта гетерогенных химических реакций.
Решению задачи разработки метода и технических средств для контроля за нестационарными процессами, протекающими на поверхности твердых веществ в среде активных газов, посвящена настоящая диссертация.