Неоднородные оптические покрытия : Исследование возможностей метода совместного осаждения диэлектрических пленок при вакуумном испарении

• Автор: Халед Майа
• Шифр специальности: 05.11.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1999
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 134 с. : ил.

Оглавление

ВВЕДЕНИЕ
Обзор литературы
1. Методы конструирования
2. Получение диэлектрических пленок
2.1. Электронно-лучевое испарение
2.2 Лазерное испарение
2.3 Катодное испарение
3. Приготовление исходных
3.1. Диэлектрические материалы
3.2. Оксиды
4. Неоднородные и совместно напыленные для оптических применений
5. Показатель преломления диэлектрических пленок, получаемых при одновременном испарении нескольких пленкообразующих
6. Обзор литературы посвященной новейшим достижениям в области
оптических покрытий
Выводы
1. Расчет оптических характеристик интерференционных покрытий и
показателей преломления смеси двух материалов
1.1 Распространение электромагнитных волн в однородной изотропной
1.1.1. Отражение и преломление световой волны на плоской границе раздела двух сред при наклонном падении света (коэффициенты Френеля)
1.1.2. Отражение и прохождение электромагнитной волны через многослойную
систему
1.1.3. Матричный способ описания оптических свойств однородных покрытий
1.1.4. Рекуррентный способ описания оптических свойств
однородных покрытий
1.2. Плотность пленки
1.3. Расчет показателя преломления смеси двух материалов с использованием
скорости осаждения пленкообразующих материалов (гьг2)
1.4 Расчет точности
Выводы по главе
2. Методы описания оптических характеристик неоднородных пленочных систем
2.1. Матричное описание
2.1.1. Приближенное решение рассматриваемой задачи
2.2. Рекуррентный метод
2.2.1. Вывод общей рекуррентной формулы
2.3. Реализуемый показатель преломления
Выводы по главе
3. Программа расчета спектральных характеристик слоев с переменным показателем преломления неоднородных тонких
пленок
3.1. Расчет спектральных характеристик
3.1.1. Матричный метод
3.1.2. Схема программы
3.1.3. Мультислои с периодической структурой
3.1.4.Программа мониторинга при осаждении неоднородной системы
3.1.5. Программа расчета распределения электрических полей внутри
слоев неоднородной диэлектрической системы
3.2 Рекуррентный метод
3.3 Описание электронной модуляции
3.4. Применение
3.4.1 Определение распределения показателя преломления
3.4.2. мониторинг
3.4.3 Распределение интенсивности электрического поля
Выводы по главе
4. Технология испарения и экспериментальные результаты
4.1 Экспериментальные установки
4.1.1 Процесс осаждения
4.2. Исследование зависимости скорости осаждения пленкообразующих материалов от мощности электронного пучка
4.2.1. Показатель преломления смеси М§Р2-2п8 ,М§Р2-АЬОз,
4.3. Исследование зависимости скорости осаждения пленкообразующих материалов от времени при постоянной мощности электронного пучка
4.4. Экспериментальное определение форм-фактора (Ъ), характеризующего пленки диэлектрических смесей
4.5. Исследование временной зависимости скорости осаждения пленкообразующих материалов при ступенчатом изменении мощности испарителя
4.6. Экспериментальное изготовление и исследование свойств неоднородных многослойных систем
4.6.1. Антиотражающие покрытия (стекло ВК-7)
4.6.2. Антиотражающие покрытия (германий ве)
4.6.3. Зеркальные системы
4.7 Физические, механические свойства покрытий
Выводы по главе
Приложение а
Приложение б
Литература

Н и Ь), Д?(тіп) получено в результате экспериментов для отражающих в видимом диапазоне неоднородных тонких пленок.
1.6. Расчет показателя преломления.
В данной работе для расчета показателя преломления используются общие формулы:

1 Л+М,
где: с Сг объемная концентрация молекул типа I
Для получения зависимости гщДЮ, 112), будем использовать полученное ранее выражение:

С2 , ч £
Е, + — (£, -£,)-£,
‘ 1-і 2 ' 2 1-і

1-і'
- г,))2 +4.г,г2.

представим объемную концентрацию в этом выражении как функцию скорости:

г, ,8Л(
IV. + IV, , Рі Р2 с А *
1 2 (— гх + —.г2)ДД?
А Рі
, тогда
зависимость п=Дгь г2) принимает следующий вид:

є, +-
(1—Ь).(а,г, +а2г,)
(є2 Є,) є2

2'1-Ь 1 (1-Ь).(а,г, + а 2 г,)
(є2-є,))2+4.є,є2.-

і, (а,г, + а2гг) І,
/с —_р а22 .2 г
12 , £1 т > + і і
і, і, (Я+Я)
(18)
обозначим часть, зависящую от времени 41(1), тогда:

і, (я,г, + я2г,) і, (я,г, + я2г2>
Я..Г,
А (яг/, +а2.г0 +а2.а2

яО)=¥-<ї-
_ Лє Ае а,
і[ (а, + а2.гй + а2.а2Х) і, і, (я/, + я2 .г0) 1 + аХ