Физико-химические закономерности формирования пленок оксида олова из пленкообразующих комплексных соединений

• Автор: Кузнецова, Светлана Анатольевна
• Шифр специальности: 02.00.04
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1998
• Место защиты: Томск
• Количество страниц: 126 с.

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. ФИЗИКО - ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ КОМПОЗИЦИОННЫХ
МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ БпОг
1.1. Анализ современного уровня физико - химических исследований по пленочным композиционным материалам на основе БпОг
1.2. Тонкопленочные композиционные материалы на основе оксидов олова
1. 2.1. Тонкопленочное состояние вещества
1. 2.2. Физико - химические свойства пленок БпОг и их применение
1.3. Физико - химические закономерности формирования пленок ЭпОг
1.3.1. Методы получения пленок
1.3.2. Формирование пленок впОг из пленкообразующих растворов комплексных соединений - современней уровень исследования
Глава 2. ИСХОДНЫЕ ВЕЩЕСТВА. МЕТОДИКИ СИНТЕЗА И ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ
2.1. Характеристика исходных веществ и подготовка подложек48
2.2. Методики синтеза пленок БпОг из растворов пленкообразующих комплексных соединений
2.3. Методика изучения термической устойчивости высушенных ПОР в массивном и тонкопленочном состоянии
2.4. Методика исследования вязкости ПОР
2.5. Методика исследования электропроводности ПОР
2.6. Методы ПМР и спектрофотометрического анализа
2.7. Микрорентгеноспектральный анализ
2.8. Растровая электронная микроскопия
2.9. Рентгенофазовый анализ

2.10. Методы исследования физико - химических свойств пленок
2.10.3. Исследование электрофизических свойств пленок
Глава 3. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ФОРМИРОВАНИЯ БпОг ИЗ РАСТВОРОВ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩИХ КОМПЛЕКСНЫХ СОЕДИНЕНИЙ. СВОЙСТВА ПЛЕНОК Эп02
3.1. Состав и свойства пленкообразующих растворов на основе комплексных соединений
3.1.1. Исследование процессов комппексообразования олова (II) с ацетилацетоном в растворе этилового спирта
3.1.2. Исследование процессов комплексообразования олова (I!) с салициловой кислотой в растворе этилового спирта
3.2. Физико - химические процессы формирования БпОг в массивном и тонкопленочном состоянии
3.2.1. Изучение термической устойчивости комплексного соединения ЗпНасасС12-2Н20
3.2.2. Изучение термической устойчивости ПОР комплексных соединений
3.3. Свойства пленок БпОг
3.3.1. Структура и физико - химические свойства пленок Эп02, полученных из растворов пленкообразующих комплексных соединений
3.3.2. Структура и свойства пленок впОг, синтезированных из ПОР ацетилацетоната олова (II)
2.10.1. Исследование оптических свойств пленок
2.10.2. Адгезия пленок

3.3.3. Структура и свойства пленок ЭпОг, синтезированных из
ПОР салицилата олова (II)
3.4. Рекомендации по практическому применению тонкопленочных материалов на основе ЭпОг
ВЫВОДЫ
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

Таблица 1.11 [77] Использование различных методов получения тонких пленок в
микроэлектронике
Функциональное назначение пленок Элект- рохим. Хим. восст. Из газовой фазы Аноди-рова -ние Ваку- умное испа- рение Ионног распы- ление
Проводники, резисторы

Диэлектрики, конденсаторы

Сверхпроводники

принципиально возможное применение;
= - широкое практическое применение.