Теоретические основы метода дифференциального рассеяния лазерного излучения на прецизионных диэлектрических поверхностях

• Автор: Малицкий, Константин Николаевич
• Шифр специальности: 01.04.21
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2001
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 102 с.

Теоретические основы метода дифференциального рассеяния лазерного излучения на прецизионных диэлектрических поверхностях.
Оглавление.
Введение
Глава 1. Теория рассеяния света на малой шероховатости
диэлектрической поверхности.
1.1. Введение.
1.2. Постановка задачи и основные уравнения.
1.3. Решение задачи рассеяния методом ограниченного преобразования координат.
1.4. Статистическое описание шероховатых поверхностей.
1.5. Обсуждение полученных теоретических результатов.
Выводы.
Глава 2. Рассеяние на приповерхностном слое с измененными оптическими свойствами.
2.1. Введение. +
2.2. Физические механизмы изменения оптических свойств приповерхностного слоя.
2.3. Рассеяние оптического излучения на приповерхностном слое
с малыми флуктуациями диэлектрической проницаемости.
2.4. Функции корреляции и функции спектральной плотности мощности, соответствующие различным эффектам,
влияющих на оптические свойства.
2.5. Обсуждение полученных результатов для рассеяния
на приповерхностном слое с измененными оптическими свойствами
Выводы.
Г лава 3. Сравнение теоретических и экспериментальных результатов
3.1. Экспериментальные измерения по методу дифференциального рассеяния.
3.2. Сравнение теоретических и экспериментальных результатов по методу дифференциального рассеяния.
3.3. Современные методы исследования прецизионных оптических поверхностей.
3.4. Методика сравнения характеристик шероховатости, измеряемых различными методами.
3.5. Результаты сравнения характеристик шероховатости кварцевых подложек, измеренных различными методами.
3.6. Методика метрологических измерений параметров шероховатости ситалловых подложек.
Выводы.
Глава 4. Рассеяние на шероховатости с учетом ее влияния на оптические свойства приповерхностной области.
1.1. Введение.
1.2. Модель влияния шероховатости на эффективное поле в приповерхностной области.
1.3. Рассеяние на шероховатости с учетом изменения поляризованности граничных и приграничных атомов.
Выводы.
Заключение.
Приложение А. Волновое уравнение в криволинейных координатах. Приложение В. Метод функций Грина для задачи поверхностного рассеяния на диэлектрике.
Список литературы.

Часто используемые сокращения и обозначения.
ОКП - ограниченное криволинейное преобразование;
СПМ - спектральная плотность мощности;
ARS - дифференциальное рассеяние (angle resolved scattering); TIS - полное интегральное рассеяние (total integral scattering);
f(x, у) - функция профиля поверхности;
A - длина волны лазерного излучения;
є - высокочастотная диэлектрическая проницаемость;
a - среднеквадратичная шероховатость;
d - толщина приповерхностного слоя;
0» - угол падения;
в - полярный угол рассеяния;
9 - азимутальный угол рассеяния;
f - пространственная частота.
-90 -60 -30 0 30 60

Рис. 3. Теоретические индикатрисы дифференциального рассеяния. Сплошная и пунктирная кривые соответствуют расчетам по выражениям (1.30) и (1.34), соответственно, то есть с использованием линейных (стандартная “векторная теория рассеяния”) и квадратичных по /(х,у) и ее производным членов возмущения. Расчет для полированной кварцевой подложки: £=2.12, Л= 0.63 мкм, а= 12А°, I = 1.0 мкм, лоренцева статистика, угол
падения 50°.