Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний

• Автор: Соломкин, Федор Юрьевич
• Шифр специальности: 01.04.10
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1997
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 162 с.

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА1
ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
1.1. Полупроводниковые материалы для термоэлектрических преобразователей
1.2. Физические свойства высшего силицида марганца
1. 3. Физические свойства моносилицида кобальта
1.4.Оптимальные сочетания материалов для изготовления термогенераторов
1.5.Коммутационные материалы для высокотемпературных термоэлектриков
1.6. Способы нанесения коммутационных покрытий
1. 7.Электрохимический способ обработки поверхности
1.8. Факторы воздействующие на электродные процессы
1.9.Воздействие света на электрохимические системы
1.10. Полирующее травление
1.11. Количественные теории полирования
1.12.Экспериментальная проверка количественных теорий полирования
1.13. Планарный рост (ПР) металлической пленки
1.14.Влияние реакции выделения водорода на электрохимическое полирование и планарный рост
металлических покрытий
1.15.Особенности взаимодействия кремния и силицидов с растворами, содержащими фтористоводородную кислоту

ГЛАВА 2.
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ И ИХ РАБОТА
2.1.Измерение удельного электрического сопротивления
переходной области: полупроводник-металлическое
покрытие
2.2.Регистрации спектров оптического пропускания
электролитов
2.3.Контроль за состоянием границы полупроводник / электролит по временной развертке ЭДС
2.4. Фотохимический контроль состояния поверхности
подложек кремния
2. 5.Измерение вольт-амперных характеристик термоэлектрических модулей
ГЛАВА 3.
МЕТОДИКА КОНТРОЛЯ СОСТАВОВ ЭЛЕКТРОЛИТОВ
3.1.Влияние концентрации компонентов в растворе на полирующие свойства электролитов и кондиционность
металлических покрытий
ГЛАВА 4.
ХИМИЧЕСКАЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ПОЛИРОВКА КРЕМНИЯ И СИЛИЦИДОВ ПЕРЕХОДНЫХ МЕТАЛЛОВ
4.1.Химическая металлизация моно- и поликристаллических силицидов З-б переходных металлов
4.2.Химическая металлизация и химическая полировка
кремния
4.3. Фото-химическая металлизация кремния
4.4. Результаты фото-химического контроля состояния
поверхности подложек кремния

4.5. Фото-химическое формирование металлизированного
рельефа на поверхности кремния
ГЛАВА 5.
ЭЛЕКТРОЛИТЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ КРЕМНИЯ
5.1. Электролиты, содержащие никель и кобальт
5. 2. Электролит, содержащий хром
5. 3. Электролит, содержащий железо
ГЛАВА 6.
ЭЛЕКТРОЛИТЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ СИЛИЦИДОВ
3-Й ПЕРЕХОДНЫХ МЕТАЛЛОВ
6.1. Состав, совмещающий свойства полирующего травителя и электролита для осаждения N1 на силициды 3-й переходных металлов и кремний
6.2.Состав для электрохимического нанесения низкоомных коммутационных никелевых покрытий на силициды Зй-переходных металлов
6.3.Состав для электрохимического нанесения низкоомных коммутационных покрытий кобальта на силициды 3-й переходных металлов
6.4.Состав для электрохимического нанесения антидиффу-зионных покрытий хрома на силициды 3-й переходных металлов
6.5.Состав для электрохимического нанесения низкоомных покрытий железа на силициды 3-й переходных металлов
6.6.Взаимодействие коммутационных (N1, Со) и антидиффузионных (Сг) -покрытий с поверхностью силицидов МпБІ!. 75, СоБі, ЕеБ1г

точнике. В случае ХП им служат внутренние источники тока, возникающие в результате функционирования гальванических элементов на поверхности полируемого материала.. Рассмотрим основные качественные теории полирования.
Жаке, изучая электрохимическое полирование (ЭХП) меди в ор-тофосфорной кислоте впервые предложил объяснение этого процесса [18-26]. Сущность его теории состоит в следующем. При прохождении электрического тока через электролит у поверхности анода образуется жидкий слой из продуктов анодного растворения, имеющий повышенную вязкость и большое электрическое сопротивление. Толщина этой вязкой пленки неодинакова на различных участках шероховатой поверхности: -в углублениях она больше, чем на выступах. В следствие этой неравномерной изоляции поверхности анода происходит неравномерное распределение электрического тока на ней. На выступах устанавливается более высокая плотность тока, чем во впадинах. Поэтому выступы растворяются более интенсивно, что ведет к выравниванию шероховатой поверхности.
По мнению Эльмора [27, 28] главную роль при ЭХП играет диф-
фузия продуктов анодного растворения от поверхности электрода в общую массу электролита. Ввиду того, что градиент концентрации продуктов анодного растворения на пиках выше, чем в углублениях, растворение пиков идет с большей скоростью. При помощи теории Эльмора и Жаке трудно объяснить ЭХП при интенсивном искусственном перемешивании или когда процесс сопровождается сильным газовыделением в электролите. Кроме того, было установлено, что при добавлении С1-ионов к различным электролитам процесс ЭХП нарушается несмотря на то, что вязкий прианодный слой продолжает существовать. Наличие на поверхности анода вязких пленок яв-