Исследование возможности использования тонкопленочных монолитных слоистых структур для создания устройств обработки широкополосных сигналов и мониторинга окружающей среды

• Автор: Боритко, Сергей Викторович
• Шифр специальности: 01.04.10
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2001
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 206 с. : ил

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава I.ВЛИЯНИЕ ПОПЕРЕЧНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ НА ФАЗОВУЮ СКОРОСТЬ ПАВ В МОНОЛИТНОЙ СЛОИСТОЙ СТРУКТУРЕ n-Si-SiOx-ZnO
1.1. Особенности технологии нанесения пьезоэлектрических пленок окиси цинка (обьект исследований)
1.2. Экспериментальные исследования изменения фазы ПАВ, распространяющейся в слоистой структуре n-Si-SiOx-ZnO , при приложенный поперечного постоянного напряжения
1.3. Расчет изменения волнового вектора ПАВ при подаче поперечного постоянного поля в монолитной слоистой структуре
1.4. Основные результаты главы
Глава II. ИССЛЕДОВАНИЕ ПАВ-КОНВОЛЬВЕРОВ, РАБОТАЮЩИХ НА УПРУГОЙ НЕЛИНЕЙНОСТИ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИКА
2.1. ПАВ-конвольверы, использующие упругую нелинейность пьезоэлектрика (предварительные замечания)
2.2. Влияние периодических структур на выходные характеристики
волноводных ПАВ-конвольверов
2.3* ВШП с емкостным взвешиванием электродов (выбор объекта исследований)

2.4. Экспериментальное исследование широкополосного ПАВ-конвольвера, использующего ВШП с емкостным взвешиванием электродов
2.5. Основные результаты главы
Глава III. НЕЛИНЕЙНОЕ АКУСТОЭЛЕКТРОННОЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ В ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ СЛОИСТОЙ СТРУКТУРЕ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИК ЫШу ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ПЛЕНКА 1пБЪ
3.1. Расчет величины сигнала свертки для планарно-поперечного ПАВ-конвольвера на основе монолитной слоистой структуры пьезоэлектрик - тонкая полупроводниковая пленка
3.2. Особенности изготовления монолитных слоистых структур уг-срез ЫИЪО„ - Бз.О - 1пБЬ - А1 (описание объекта исследований)

3.3. Экспериментальные исследования планарно-поперечных ПАВ-конволь-веров на основе монолитной слоистой структуры уг-срез 1ЛЫЬ03 -Бз

3.4. Основные результаты главы
Глава IY. ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ СОЗДАНИЯ НИЗКОЧАСТОТНЫХ ШИРОКОПОЛОСНЫХ ЛИНИЙ ЗАДЕРЖКИ НА ПАВ
4.1. Управляемое внешним напряжением электроакустическое
преобразование

4.2. Демодуляция радиосигналов за счет акустоэлектричеекого эффекта
4.3. Низкочастотная широкополосная линия задержки
4.4. Основные результаты главы
Глава У. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СОСТАВНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ РЕЗОНАТОРОВ ДЛЯ СОЗДАНИЯ СОРБЦИОННЫХ ХИМИЧЕСКИХ СЕНСОРОВ ДЛЯ ГАЗОВОГО АНАЛИЗА
5.1. Исследование характеристик текстурированных пленок нитрата гуанидина и пьезопреобразователей, созданных на их основе
5.2. Резонансный характер чувствительности химических сенсоров на основе составных акустических резонаторов
5.3. Основные результаты главы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
Публикации по теме диссертации

Известно, что изменение волнлвого вектора ПАВ можно найти из соотношения 151]:
1Ф* (2п1Г В’) + Ф* 2nif Ю) *] ут _л 4, = 1
4 Р (1.9)
где Р - средняя невозмущенная энергия на единицу длины волны вдоль направления распространения ПАВ. Таким образом, для Дq получаем:
1Ф (0)Ф(0) £,/а + е дч =
р г е
В данном выражении можно выделить выражение для эффективной константы электромеханической связи:
2тгГ (г./а + £ ) Ф* (0) Ф(0)
8 й р
(АУП/У0>
Н Н 80 4 р
и окончательное выражение для изменения волнового вектора имеет вид:
d 1 - у/а
Aq = - !AV_/Vd) q
RR SC 471 £, + £ У
d p'
e, + e tanh (qh)
d s as, + в tanh (qh)

1 * v # г.» j. a£,tanh (qh) + e
stanh(qh) + d n s

a - 2 q Rp exp (~ e q»s/2T)