Экспериментальное исследование сильноточных форм квазистационарного разряда низкого давления в магнитном поле

• Автор: Мозгрин, Дмитрий Витальевич
• Шифр специальности: 01.04.08
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1994
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 122 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава I. Сильноточные разряды низкого давления в магнитном поле и их использование для генерации плотной плазмы и интенсивных потоков частиц
1.1 Экспериментальные исследования газового разряда низкого давления в магнитном поле и их применение
в современной технике
1.2 Методы получения разрядов низкого давления большой
мощности с однородной структурой плазмы
Выводы
Глава 2. Методика и техника эксперимента
2.1 Экспериментальная установка для получения мощных квазистационарных форм газового разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях
2.2 Импульсная зондовая методика определения параметров плазмы
2.3 Двухмодовая лазерная методика определения плотности плазмы
2.4 Импульсное смещение
Глава.3. Области существования и характеристики квазистационарных сильноточных режимов разряда низкого давления в магнитном поле различной конфигурации
3.1 Режимы квазистационарного разряда
3.2 Применение импульсной зондовой методики для определения параметров плазмы и ионных потоков

3.3 Определение параметров плазмы разряда методом двухмодовой лазерной интерферометрии
3.4 Обсувдение результатов
Глава.4. Эмиссионные и распылительные характеристики
сильноточных форм квазистационарного разряда низкого давления
4.1 Особенности катодного распыления в квазистационар-ном сильноточном магнетронном разряде и его использование в технологии импульсного распыления материалов
4.2 Эмиссионные свойства плазмы сильноточного диффузного разряда и их использование в технологии ионно-стимулированного травления материалов
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА

ВВЕДЕНИЕ.
Интенсивное исследование разрядов низкого давления в поперечном магнитном поле связано с их широким использованием в магнетронных устройствах технологического назначения, ускорителях плазмы с замкнутым дрейфом электронов, в качестве плазменных эмиттеров для электронных и ионных инжекторов.
Анализ литературных данных показывает, что свойства разряда в поперечном магнитном поле с замкнутым дрейфом электронов в области перехода от магнетронного разряда с растущей вольт-амперной характеристикой к дуговому разряду практически не изучены. Отсутствуют обоснованные экспериментальные и теоретические данные, позволяющие определить предельные режимы магнетронного разряда в которых функционирует большинство технологических устройств.. Исследование мощных импульсных разрядов, используемых для генерации плотной однородной плазмы, указывает на возможность существования устойчивых фор« разряда в магнитном поле, не переходящих в контрагирован-ную фазу при значительных величинах тока, обычно соответствующих дуговой области вольт-амперной характеристики таких разрядов.
Цель работы:
Исследование вольт-амперных характеристик и областей существования сильноточных форе квазистационарного разряда низкого давления в магнитных полях различной конфигурации.
Определение локальных характеристик плазмы указанных форм разряда.
Исследование возможности использования плазмы сильноточного разряда для генерации плотных плазменных образований и интенсивных потоков заряженных частиц.

Рис.2Л Блок схема экспериментальной установки
1 - разрядное устройство
2 - система предварительной ионизации
3 - система импульсного питания разряда
4 - магнитная система
5 - вакуумная система
6 - система измерения вольт-амперных
характеристик разряда
7 - система синхронизации и запуска
8 - диагностческие системы