Теория динамической рентгеновской дифракции в кристаллах с переменным градиентом деформации и ее применение для анализа гетероструктур и сверхрешеток

• Автор: Дышеков, Артур Альбекович
• Шифр специальности: 01.04.07
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Нальчик
• Количество страниц: 241 с. : ил.

ОГЛАВЛЕНИЕ

Введение
Глава I. Проблема рентгеновской дифракции в пленках
с переменным градиентом деформации
§1.1 Кристаллические структуры с периодическим полем деформаций
§ 1.2 Рентгеновская дифракция в кристалле со сверхпериодом
§1.3 Динамическая теория дифракции в сверхрешетках
§ 1.4 Кинематическая теория дифракции в сверхрешетках
§1.5 Дифракция в кристалле с переходным слоем
Глава II. Деформации и напряжения в многослойных
эпитаксиальных системах
§2.1 Влияние пластической деформации подложки на профиль напряжений и критическую толщину эпитаксиальной пленки
§2.2 Идентификация гексагональной фазы в эпитаксиальной системе ОаР/2п(1У)5
Глава III. Динамическая дифракция в периодических структурах
§3.1 Концепция единой параметризации в проблеме
описания дифракции в сверхрешетках
§3.2 Влияние градиента деформации между слоями сверхрешеток на динамические эффекты рентгеновской дифракции
§3 .3 Динамическое рассеяние рентгеновских лучей в сверхрешетке с различными толщинами слоев в периоде
§3.4 Динамическая рентгеновская дифракция в сверхрешетках с различным градиентом деформации в переходной области
Глава IV. Особенности дифракции в кристаллах с переменным градиентом деформации, следующие из характеров

решений уравнений Такаги.
§4.1 Структура с переменным градиентом деформации.
§4.2 Структура с периодическим полем деформации.
Глава V. Динамическая рентгеновская дифракция в кристаллах с монотонным градиентом деформации.
§5.1 Динамическая рентгеновская дифракция в кристалле с экспоненциальным градиентом деформации. Точное аналитическое решение и основные качественные особенности волнового ПОЛЯ.
§5.2 Динамическая дифракция в случае резкого градиента деформации.
§5.3 Расчет равномерно пригодных разложений для вырожденных гипергеометрических функций.
§5.4 Новые точные аналитические решения рентгеновской динамической дифракции в кристаллах с переменным градиентом деформации.
§5.5 Полукинематическая теория резкоасимметичной дифракции на бикристалле.
Глава VI. Экспериментальные методы анализа упругонапряженного состояния и переходных слоев многослойных гетероструктур.
§6.1 Рентгенодифрактометрический способ определения всех компонент полного тензора деформаций.
§6.2 Расчет упругих напряжений и концентрации твердого раствора в гетероструктурах по измеренным деформациям.
§6.3 Рентгенодифракционный способ определения характеристик эпитаксиальных структур.
§6.4 Рентгенодифракционный способ определения параметров

многослойных гетероструктур
§6.5 Характер рентгенодифракционного рассеяния и определение структурных параметров пленки с переменным градиентом деформации
§6.6. Рентгенодифрактометрическое определение статического фактора в пленках с градиентом деформации
Заключение и основные результаты
Литература
39,55 39,45 39,35 39,25 39,15 ©°
Рис. 2. КДО рефлекса (004) СоКсс; излучения от СР ОаА8096Р004/ОаАз/.../(001)ОаАз [10]: 1 - / = +1, режим записи 102 имп/с; 2 — / =0;3 — / —1, режим записи 102 имп/с. Стрелка слева соответствует составу буферного слоя твердого раствора ОаА801925Р0075, стрелка справа - РД максимуму подложки ваАй. На вставке - диаграмма, поясняющая появление сателлитов разных ширин. Зоны устойчивых решений заштрихованы.