Влияние поверхностных фаз Si-Au, Si-Na, Si-In на электрическую проводимость кремния (100)

• Автор: Цуканов, Дмитрий Анатольевич
• Шифр специальности: 01.04.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Владивосток
• Количество страниц: 140 с.

1 Поверхностные фазы и их влияние на электрические свойства
1.1 Поверхностные фазы и двумерная кристаллография
1.2 Электропроводность поверхности полупроводников
1.2.1 Общие сведения об электропроводности полупроводников
1.2.2 Электропроводность приповерхностной области полупроводников
1.3 Исследование электрофизических свойств поверхностных фаз
1.3.1 Электрическая проводимость поверхностной фазы кремния 81(111)7x7
1.3.2 Электрическая проводимость поверхностных фаз кремний-адсорбат
1.3.3 Электрические свойства захороненных поверхностных фаз. ... 47 Выводы
2 Методы исследования
2.1 Экспериментальная установка
2.2 Методы исследования
2.2.1 Метод дифракции медленных электронов
2.2.2 Четырехзондовый метод измерения сопротивления
2.3 Подготовка образцов

2.3.1 Приготовление образцов и получение атомарно-чистой поверхности кремния
2.3.2 Методика формирования поверхностных фаз на кремнии
Выводы
3 Электрическая проводимость поверхностной фазы
81(100)2x1 при напылении адсорбата при КТ
3.1 Некоторые представления о проводимости поверхностных фаз
3.2 Измерения проводимости при напылении золота на поверхностную фазу 81(100)2x1
3.3 Измерение проводимости при напылении сурьмы на поверхностную фазу 81(100)2x1
3.4 Измерение проводимости при экспозиции поверхностную фазу 81(100)2x1
в атмосфере атомарного водорода
3.5 Обобщение результатов
Выводы
4 Электрическая проводимость поверхностных фаз кремний-адсорбат на кремнии (100)
4.1 Измерение электрической проводимости поверхностных фаз и сверхтонких пленок на кремнии
4.2 Проводимость сверхтонкой пленки золота, сформированной при комнатной температуре
4.3 Исследование электрической проводимости поверхностных фаз кремний-золото
4.4 Исследование электрической проводимости поверхностной фазы 81(100)2хЗ-Ма

4.5 Взаимодействие атомарного водорода с поверхностной фазой 8і(100)2хЗ-Ма
4.6 Обсуждение результатов
Выводы
Заключение
Библиография
Глава
Методы исследования Введение.
Для исследования кристаллической структуры поверхностных фаз в сверхвысоком вакууме использовался метод дифракции медленных электронов, а для измерения проводимости - четырехзондовый метод. Первый метод позволяет идентифицировать Г1Ф по кристаллической структуре поверхности, а также отследить процесс формирования либо разрушения ПФ по интенсивности основных рефлексов и сверхрефлексов. Второй метод позволяет определить электрическую проводимость ПФ. Их подробное описание имеется в работах [41,42]. Поэтому ниже будут приведены лишь основные характеристики этих методов. Приводится описание сверхвысоковакуумной установки, в которой проводились эксперименты и приводятся методы получения атомарно-чистой поверхности и методы формирования ПФ.
2.1 Экспериментальная установка.
Эксперименты проводили в сверхвысоковакуумной установке Научно-технологического центра полупроводниковой микроэлектроники ИАПУ ДВО РАН ”ШЬег” ОЕЬ-ЗОО. Установка оснащена средствами безмаслянной откачки, измерителем давления остаточных газов, источниками золота, натрия, вакуумным клапаном для напуска водорода в основную камеру, системой дифракции медленных электронов (ДМЭ), четы-