Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники
- Автор:
Песков, Вадим Вячеславович
- Шифр специальности:
01.04.04
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2012
- Место защиты:
Фрязино
- Количество страниц:
121 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники», автор — Песков, Вадим Вячеславович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 01.04.04. Работа подготовлена в городе Фрязино в 2012 году. Объем работы: 121 с. : ил.. Внутренний код товара: 01005458235. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Влияние свойств поверхности на процессы рассеяния и распыления атомных частиц | Мосунов, Александр Сергеевич | 1998 |
| Термодинамический, кристаллографический и дефектно-деформационный аспекты изменения работы выхода электрона | Владимиров, Александр Федорович | 2001 |
| Исследование прикатодных областей тлеющего разряда в гелии и азоте | Прохорова, Елена Игоревна | 2011 |