Распыление платины ионами инертных газов низких энергий

• Автор: Хайдаров, Абдусаме Аббосович
• Шифр специальности: 01.04.04
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1999
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 122 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава I. Распыление одноэлементных материалов (основные
закономерности, механизмы)
1.1 Введение
1.2. Характеристики, используемые при описании распыления
1.3. Распыление монокристаллов
1.3.1. Анизотропия угловых распределений монокристаллов
1.3.2. Механизмы распыления монокристаллов
1.4. Распыление поликристаллов и аморфных мишеней
1.4.1 Каскадный механизм и теория распыления Зигмунда
1.4.2. Распыление легкими ионами
1.4.3. Режим первичного выбивания атомов
1.4.4. Режим тепловых пиков
1.4.5. Угловые распределения распыленных частиц
1.4.6. Заключение к обзору и постановка задачи
Глава II. Методика изучения угловых распределений распыленных частиц
2.1. Экспериментальная установка
2.2. Методика и условия проведения экспериментов по изучению угловых распределений распыленных частиц
2.3. Подготовка мишеней
2.4. Применение обратного резерфордовского рассеяния для измерения угловых распределений распыленных частиц

2.5. Компьютерное моделирование,

Глава III. Угловые распределения частиц при распылении поликристалла
Р1 ионами Аг+
3.1. Введение
3.2. Угловые распределения атомов при распылении текстурированного поликристалла Р1
3.3. Угловые распределения атомов, распыленных из нетекстурированного поликристалла Р1
3.4. Влияние массы бомбардирующих ионов на угловое распределение распыленных частиц
Глава IV. Распыление поликристалла Р1 легкими ионами
4.1. Введение
4.2. Угловые распределения частиц, распыленных из поликристалла Рг облучаемого ионами Не+
4.3. Парциальные угловые распределения распыленных частиц
4.4. Механизмы распыления поликристалла Р1 низкоэнергетичными ионами Не+ и Аг+
4.5. Влияние энергии бомбардирующих ионов на вклад различных механизмов в распыление Р1
Основные результаты и выводы
Литература

Введение.
При бомбардировке поверхности твердого тела ускоренными ионами наблюдается процесс распыления, т.е. эмиссии атомов твердого тела. Надежно установлено, что атомы твердого тела эмитируются в вакуум (или распыляются) . вследствие столкновений, инициируемых
бомбардирующими частицами в приповерхностных слоях твердого тела.
Большой прогресс в понимании физики распыления был достигнут после открытия в 1955 году Венером анизотропии угловых
распределений частиц, распыленных из монокристаллов и опубликования в 1969 году Зигмундом каскадной теории распыления. Однако, сегодня, когда распыление стало неотъемлемой частью разнообразных технологических процессов и играет существенную роль в функционировании различных устройств, требуются все более детальные сведения о механизмах процесса распыления.
С этой точки зрения изучение пространственных распределений распыленных частиц занимает важное место в исследованиях распыления. Эта особая роль связана с тем, что пространственные распределения содержат богатейшую информацию о процессах атомных столкновений, происходящих при ионной бомбардировке в приповерхностных слоях твердого тела. Поэтому исследование пространственных распределений распыленных частиц можно рассматривать как очень эффективный метод изучения механизмов распыления.
Кроме того, сведения об угловых распределениях распыленного материала необходимы для таких практических приложений как

Однако, экспериментальные исследования последних лет показывают, что угловые распределения распыленных частиц, как правило, не соответствуют закону косинуса.
Вблизи порога распыления угловые распределения, представленные в полярных координатах, имеют сердцевидную форму (см. рис. 1.13). С увеличением энергии, как видно из рисунка выход распыленных частиц по нормали к поверхности мишени возрастает и угловые распределения становятся подкосинусными.
В середине 70-х годов Воссен [48], анализируя экспериментальные данные по угловым распределениям распыленных частиц отметил, что при увеличении энергии бомбардирующих ионов подкосинусные распределения становятся близкими к закону косинуса, а затем, при дальнейшем увеличении энергии ионов приближаются к распределению:
£«соз‘е (1.10)
Описанная выше трансформация угловых распределений при изменении энергии бомбардирующих ионов наблюдалась лишь в одной работе [49], в которой изучались угловые распределения распыленных частиц при бомбардировке Ре ионами Аг+ с энергиями 0,6 до 5 кэВ. Экспериментальные данные, полученные в этой работе анализировались на основе теоретического рассмотрения, так и путем моделирования угловых распределений с использованием компьютерной программы АС АТ [50]. Для аппроксимации экспериментальных и рассчитанных по программе АС АТ угловых распределений использовалось выражение: