Монохроматизация и энергоанализ потоков заряженных частиц в электростатических конических потенциалах

• Автор: Габдуллин, Павел Гарифович
• Шифр специальности: 01.04.04
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1999
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 111 с. : ил.

ОГЛАВЛЕНИЕ.
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ОБЩИЕ ВОПРОСЫ
1.1. Обзор литературы. Постановка задач
1.2. Используемая система единиц
ГЛАВА 2. КОНИЧЕСКИЕ ПОТЕНЦИАЛЫ
2.1. Иерархия полевых структур на основе
представления Донкина
2.2. Задача Коши для симметричных конических полей
2.3. Выводы. 40 ГЛАВА 3. АНАЛИЗ ДВИЖЕНИЯ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ
В КОНИЧЕСКИХ ПОТЕНЦИАЛАХ.' fy';
3.1. Расчетные характеристики конического потенциала параболического сечения
3.1.1. Точечный источник
3.1.2. Источник конечных размеров
3.1.3. О технологии создания электродной конфигурации
3.2. Движение частиц в поле двугранного угла
3.3. Движение частиц в поле кругового конуса
3.4. Заключение. 67 ГЛАВА 4. ВЫБОР ПОЛЕВОЙ СТРУКТУРЫ, СОЗДАНИЕ
И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ МОНОХРОМАТОРА ЛЕНТОЧНЫХ ПОТОКОВ ЭЛЕКТРОНОВ НА ЕЕ ОСНОВЕ
4.1. Выбор полевой структуры
4.2. Многокаскадные системы

4.3. Выбор электронно-оптической схемы монохроматора
и его расчетные характеристики
4.4. Особенности конструкции монохроматора
4.5. Описание экспериментальной установки
4.6. Характеристики двухкаскадного монохроматора
и электронного спектрометра на его основе
4.7. Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
ПРИЛОЖЕНИЕ

Введение.
Развитие современной физики поверхности и границ раздела предъявляет все более жесткие требования к методам и аппаратуре для исследования процессов, протекающих на поверхности и приповерхностных областях твердого тела. Знание этих процессов в значительной мере определяет развитие технологий микроэлектроники, получение принципиально новых структур с заданными параметрами, а также различных покрытий, определяющих эксплуатационные свойства поверхностей различных деталей и устройств.
Широко применяемыми для этих целей методами являются методы электронной спектроскопии. С их помощью можно получать разнообразнейшую информацию, например, об элементном составе поверхности и химическом состоянии атомов на ней (электронная оже спектроскопия - ЭОС); об адсорбированных на поверхности атомах и молекулах: местах адсорбции, энергии и природе адсорбата
(спектроскопия потерь энергии электронов высокого разрешения -СПЭЭВР); о поверхностных электронных состояниях границы раздела “твердое тело - вакуум” (методы резонансного рассеяния электронов).
Все эти методы постоянно требуют усовершенствования главнейших составляющих электронных спектрометров монохроматоров и энергоанализаторов. Так, например, для исследования быстропротекающих процессов на поверхности твердого тела в случае адсорбции или десорбции примесей, помимо высокого энергетического разрешения (в единицы мэВ) требуется и высокая интенсивность зондирующего электронного пучка (для достижения необходимого временного разрешения). В традиционно используемых

Если же рассмотреть в качестве потенциала Ф мнимую часть выражения (2.23):
(2.26)
то мы получим потенциал ‘двугранного угла , создаваемый между двумя плоскостями, сходящимися на общей оси г, являющейся для этого потенциала особенностью (рис. 2.7). Данный потенциал не менее хорошо известен, чем потенциал круговых конусов. Более того, на основе этой полевой структуры создан двухкаскадный монохроматор потоков электронов ([50]), практическое исследование характеристик которого будет приведено ниже.
Более нетривиальный и, соответственно, более сложный в исследовании вариант потенциалов получается при рассмотрении “конической” экспоненты:

Б=ехрсо=ехр

х-Ыу
г + р
С ОБ

г + Р,
г+р + 1ехр
Г х
(2.27)
12+Р.

где р=д/х2+у2+г2 . Привлечение экспоненты к аналитическому представлению Донкина накладывает периодичность на исследуемые потенциалы. Так вещественный потенциал Ф:
Ф=ехр
2 + Р.

(2.28)
ч2+Ру
имеет в качестве нулевых эквипотенциалей серию конических параболических поверхностей:

г+л/х2 + у2 +г2
=— + лп, п = 1, 2, 3,
(2.29)