Исследование нарушений структуры кремния, возникающих при химико-механическом полировании

• Автор: Макаров, Антон Сергеевич
• Шифр специальности: 05.27.06
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 100 с. : ил.

1.1. Факторы, влияющие на чистоту и качество поверхности

пластин кремния.

1.2. Абразивный износ, связанный с процессами хрупкого

разрушения при механической обработке

1.3. Абразивный износ, связанный с упругопластической

деформацией поверхности, при химикомеханическом полировании

1.4. Влияние дефектов структуры на электрические параметры

полупроводниковых приборов и интегральных схем.

1.5. Постановка задач исследований

ГЛАВА 2. СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОВ

ИССЛЕДОВАНИЯ ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ.

2.1. Рентгеновские методы исследования дефектов структуры в
объеме и приповерхностных слоях полированных пластин кремния
2.2. Просвечивающая электронная микроскопия дефектов
2.3. Методика определения нарушенного слоя с помощью
измерения механической прочности.
2.4. Метод непрерывного вдавливания индентора. Основы
метода и возможности применения в микроэлектронике.
2.5. Выводы.
ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫ И КАЧЕСТВА ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ В ПЛАСТИНАХ КРЕМНИЯ
3.1. Исследование приповерхностных слоев методами
рентгеновской топографии.
3.2. Исследование приповерхностных слоев методами
просвечивающей электронной микроскопии.
3.3. Исследование остаточных нарушений с помощью метода
непрерывного вдавливания индентора.
3.4. Определение остаточных внутренних напряжений в приповерхностном слое кремния на стадии съема при
ХМП
3.5. Разработка атомного механизма процесса ХМП.
3.6. Химические реакции в процессе ХМП
3.7. Выводы.
ГЛАВА 4. ПРАКТИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ
РАБОТЫ
4.1. Использование неразрушающих рентгеновских методов
исследования дефектов структуры для корректировки технологии производства пластин кремния большого диаметра.
4.2. Механическая прочность утоненных с обратной стороны
пластин кремния с приборными структурами.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ И ОБЩИЕ ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА


АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ФИНИШНОЙ ОБРАБОТКИ НА СОСТОЯНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ БОЛЬШОГО ДИАМЕТРА. ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАНИЯ ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ. Метод непрерывного вдавливания индентора. Выводы. ГЛАВА 3. Разработка атомного механизма процесса ХМП. Выводы. ГЛАВА 4. ЛИТЕРАТУРА. ПРИЛОЖЕНИЯ. Рис. Цель ХМП это достижение геометрических параметров и качества поверхности, которые приведены в табл. При этом преследуется также цель удаления при ХМП всех остаточных механических повреждений поверхности, которые были привнесены на предыдущих операциях механической обработки резки, двустороннего шлифования ДСШ и не удалены при глубоком травлении. Предполагается, что сам процесс ХМП не вносит дополнительных повреждений поверхности пластин, что маловероятно. Существуют методы двустороннего 8 и одностороннего 9 полирования, однако вследствие более широкого использования пластин с шлифованотравленной обратной стороной предпочтение пока отдается одностороннему полированию с технологией приклеивания обрабатываемых пластин обратной стороной на блокиносители. Принципиальная схема метода одностороннего полирования приведена на рис. ХМП в табл. Как следует из табл. Химикомеханическое полирование должно проводиться в условиях чистых комнат. Процесс ХМП начинается с приклеивания пластин нерабочей стороной на полированные блокиносители. Для этого клеевой состав наносится на нерабочую сторону пластин равномерным слоем центрифугирование. Пластина с клеевым составом помещается на нагретый носитель и выдерживается под прессом. Давление пресса должно равномерно распределяться по поверхности блока.