Исследование нарушений структуры кремния, возникающих при химико-механическом полировании
- Автор:
Макаров, Антон Сергеевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2000
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
100 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Моделирование и получение твердых растворов InAlGaPAs на подложках GaAs и InP | Столярова, Валентина Вячеславовна | 2002 |
| Метод управления процессами тепломассопереноса при выращивании кристаллов посредством изменения симметрии и вращения теплового поля | Кох, Александр Егорович | 2002 |
| Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве | Овчинников, Вячеслав Алексеевич | 2009 |