Совершенствование процессов откачки, формирования эмиссионных характеристик катодов и герметизации ЭВП

• Автор: Прокофьев, Владимир Георгиевич
• Шифр специальности: 05.27.02
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Саратов
• Количество страниц: 212 с. : ил.

I. СОСТОЯНИЕ ВОПРОСОВ ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА, СПОСОБОВ, СХЕМ И ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ОТКАЧКИ И ГЕРМЕТИЗАЦИИ ЭВП. Существующие способы герметизации, особенности их применения и влияние на остаточный вакуум
стр. Особенности применения диффузионной сварки для герметизации мощных ЭВП, пути и параметры оптимизации. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ФИЗИКОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ГАЗОВЫДЕЛЕНИЯ, ОЧИСТКИ МАТЕРИАЛОВ И ФОРМИРОВАНИЕ ЭМИССИОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПРИ ОТКАЧКЕ ЭВП стр. ЭВП в водороде. ЭВ
Большое давление газов увеличивает долю ионного тока в приборе, пробоям, что ведет к браку. Ионизированный газ бомбардирует катод, способствуя распылению его активного вещества. Остаточные газы являются также активными переносчиками веществ с одних материалов на другие. Кислород но механизму транспортных реакции переносится с материалов имеющих меньшее с ним сродство к материалу, имеющему большее сродство. С увеличением давления отравляющих газов С, , Н,0 возникает и более интенсивный обмен примесями между деталями при их совместном отжиге.

Максимальная температура обезгаживания определяется обычно из условия

отсутствия напыления, формоустойчивости и герметичности материалов оболочки и узлов прибора. Одним из наиболее важных этапов откачки прибора является обсзгаживание катодного узла и обработка катода. Во время обработки катода выделяется наибольшее количество газа. Например, для генераторных и модуляторных ламп средней мощности потоки газа в этот период достигают 6, мПас В ряде исследований показано, что для удовлетворительной обработки, например, оксидного катода давление в системе на всех стадиях должно быть не хуже 3 Па, кроме того, существует тенденция к снижению температуры обработки катода, что может быть достигнуто путем увеличения пропускной способности вакуумной системы. Неплохие результаты дает и применение совмещенных режимов обезгаживания приборов особенно мощных ЭВП. В настоящее время при откачке нашли применение следующие основные технологические методы обезгаживания рис. Первые две технологии обеспечивают практически одинаковую продолжительность процесса и применяются в основном при штенгельном способе эвакуации газов из прибора. Совмещенное обезгаживание позволяет значительно сократить процесс, что уменьшает взаимное влияние электродов 8, уменьшает перераспределение примесей, что, в конечном счете, позволяет создать более благоприятную атмосферу для эмиссии катода, но при гаком способе требуется достаточно быстрое удаление газов из прибора. Это достигается, как правило, откачкой с применением камерного или гнездового способа обезгаживания ЭВП.