Исследование оптических свойств зонных пластинок Френеля из кремния для осевой геометрии

• Автор: Исоян, Артак Айказович
• Шифр специальности: 05.27.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2002
• Место защиты: Черноголовка
• Количество страниц: 122 с. : ил

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. РЕНТГЕНООПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ

1.1. Зонные пластинки Френеля

1.1.1. Геометрия зонных пластинок

1.1.2. Дифракционные порядки зонных пластинок

1.1.3. Дифракционная картина

1.1.4. Разрешение

1.1.5. Эффективность дифракции

1.1.6. Амплитудные зонные пластинки Френеля

1.1.7. Фазовые зонные пластинки Френеля

1.1.8. Амплитуднофазовые зонные пластинки Френеля
1.1.9. Многоуровневые зонные пластинки
1.2. БрэггФренелевская оптика
1.2.1. БрэггФренеле век ие линзы
1.2.2. БрэггФренелевские линзы на многослойных рентгеновских зеркалах
1.3. Зонные пластинки Френеля скользящего падения
1.4. Рефракционная оптика
1.5. Планарные параболические линзы
Выводы к главе 1
ГЛАВА 2. КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ И
РАСЧЕТ СТРУКТУР НЫХ ПЛАСТИНОК
2.1. Г еометрия составных зонных пластинок Френеля
2.2. Оптимизированная линейная зонная пластинка
2.3. Эффективность зонных пластинок Френеля с
глубоким поверхностным рельефом
2.4. Компьютерное моделирование и расчет структур зонных пластинок
Выводы к главе 2
ГЛАВА 3. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОСТАВНЫХ ЗОННЫХ ПЛАСТИНОК
3 Л. Изготовление подложек для зонных пластинок
3.2. Электроннолучевая литография
3.3. Глубокое ионноплазменное травление структур
зонной пластинки
3.4. Изготовленные зонные пластинки
3.4.1. Зонные пластинки первого порядка
3.4.2. Зонные пластинки первого и второго порядков
3.4.3. Зонные пластинки первого и третьего порядков
3.4.4. Зонные пластинки первого, второго и третьего порядков
3.4.5. Оптимизированная линейная зонная пластинка
Выводы к главе 3
ГЛАВА 4. ФОКУСИРОВКА ЖЕСТКОГО
РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ С ПОМОЩЬЮ
СОСТАВНЫХ ЗОННЫХ ПЛАСТИНОК ФРЕНЕЛЯ
4.1. Двумерная фокусировка рентгеновского излучения на лабораторном источнике
4.2. Экспериментальное исследование изготовленных
зонных пластинок на синхротронном источнике излучения Выводы к главе 4
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ И ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЦИТИРУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ


На источнике синхротронного излучения ESRF (Франция) показана возможность фокусировки мощных пучков ондуляторного излучения. Разработано программное приложение для расчета структур составных зонных пластинок Френеля с четными и нечетными порядками дифракции, ориентированное для работы в операционной системе Windows. Программа позволяет: просмотреть зонную пластинку (с изменением масштаба), экспортировать данные в формате ELM, вводить коррекцию двух типов, менять места открытых и закрытых зон зонной пластинки. Развита методика изготовления различных составных зонных пластинок с глубоким поверхностным рельефом. Изготовленные зонные пластинки Френеля (ЗПФ) с глубоким поверхностным рельефом по совокупности ряда параметров превосходят известные зарубежные аналоги, данные по которым приведены в периодической литературе и в сети Интернет. Изготовленные экземпляры ЗПФ используются в схемах высокоразрешаюшей рентгеновской микроскопии на источниках синхротронного излучения ESRF и SPring-8. Результаты, полуденные в диссертационной работе, являются перспективными для дальнейшего развития высокоразрешающих рентгеновских методов исследования в микроэлектронике, диагностике материалов, медицине и биологии. Программное приложение для расчета оптических характеристик составных зонных пластинок с четными и нечетными порядками дифракции. Методика формирования кольцевых и линейных составных зонных пластинок с шириной внешних зон до 0. Результаты экспериментальных исследований фокусировки рентгеновского излучения составными зонными пластинками Френеля с глубоким поверхностным рельефом на лабораторном и синхротронных источниках рентгеновского излучения Spring-8 и ESRF. Всероссийская конференция "Рентгеновская Оптика-", Нижний Новгород, - февраля, г. Всероссийская конференция "Рентг еновская Оптика-0 Г, Нижний Новгород, - февраля, г. Всероссийская школа по рентгеновской оптике, Черноголовка, - октября, г. Всероссийская конференция "Рентгеновская Оптика-", Нижний Новгород, - марта, г. The International Symposium on Optical Science and Technology, SPIE's th Annual Meeting, 7- July, , Seattle, Washington, . XIV Российская Конференция по использованию синхротронного излучения, Новосибирск, - июля, . В.В. Аристов, A. B. Куюмчян, A. A. Исоян, Возможности и некоторые проблемы для реализации многоволновой фокусировки рентгеновских лучей с помощью БФ (Брэгг-Френель) и ЛФ (Лауэ-Френель) линз. Материалы совещания "Рентгеновская оптика-", Нижний Новгород, , стр. A.A. Исоян, A. B. Куюмчян, В. В. Аристов, Е. В. Шулаков, М. В. Григорьев, Фокусировка жесткого рентгеновского излучения с помощью Френелевских составных линз, Материалы совещания "Рентгеновская оптика-", Нижний Новгород, , стр. V.V. Aristov, A. A. Isoyan, A. V. Kuyumchyan, E. V. Shulakov, M. V. Grigoriev, Non absorption Fresnel modified zone plates for focusing hard x-ray, Всероссийская школа но рентгеновской оптике, Черноголовка, - октября, г, стр. В.В. Аристов, A. A. Исоян, A. B. Куюмчян, Е. М.В. Григорьев, Фокусировка жесткого рентгеновского излучения с помощью Френелевских составных линз, Поверхность, , стр. В.В. Аристов, A. B. Куюмчян, A. A. Исоян, Е. М.В. Григорьев, К. Г. Труни, Л. А. Арутюнян, Рентгенооптические линзы и их применение, Материалы совещания "Рентгеновская оптика-", Нижний Новгород, , стр. В.В. Аристов, A. A. Исоян, A. B. Куюмчян, Е. М.В. Материалы совещания "Рентгеновская оптика-", Нижний Новгород, , стр. Kuyumchyan A. Isoyan A. Shulakov E. Aristov V. Kondratcnkov M. Snigircv A. Snigireva I. Souvorov A. Tamasaku K. Yabashi M. Ishikawa Т. Trouni K. X-ray focusing, Proceedings of SP1E, , vol. B.B. Аристов, A. A. Исоян, A. B. Куюмчян, E. B. Шулаков, Оптимизированная линейная френелевская зонная пластинка для жесткого рентгеновского излучения, Материалы XIV Российской конференции по использованию синхротронного . Новосибирск, , с. A.A. Исоян, A. Френеля на прохождение рентгеновского излучения, «Молодые ученые-», Материалы международной научно-технической школы конференции «Молодые ученые - науке, технологиям и профессиональному образованию», г. Москва - М. МИРЭА, , с.