Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы
- Автор:
Голишников, Александр Анатольевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2002
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
167 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка и исследование технологии формирования наноструктур с проводящим каналом на основе слоев графена | Левин, Денис Дмитриевич | 2015 |
| Изготовление и свойства эпитаксиальных пленочных гетероструктур на основе высокотемпературного сверхпроводника YBa2 Cu3 O x | Можаев, Петр Борисович | 1998 |
| Разработка основ технологии электронно-лучевой обработки боролантановых стекол для изготовления компонентов оптико-электронных приборов искусственных спутников Земли | Петров, Сергей Николаевич | 2011 |