Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы
- Автор:
Голишников, Александр Анатольевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2002
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
167 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка методов построения и конструктивно-технологических основ реализации элементной базы систем мониторинга дефектов конструкций | Исаева, Алина Сергеевна | 2013 |
| Низкоразмерные планарные структуры на основе монокристаллических тугоплавких металлов, проявляющие волноводные и баллистические свойства | Михайлов, Геннадий Михайлович | 2004 |
| Твердотельный датчик газов как элемент системы дистанционного мониторинга воздушной среды | Стукалов, Вадим Владиславович | 2005 |