Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы
- Автор:
Голишников, Александр Анатольевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2002
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
167 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы», автор — Голишников, Александр Анатольевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 2002 году. Объем работы: 167 с. : ил. Внутренний код товара: 01002307488. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Твердотельные охлаждающие устройства на основе электрокалорического эффекта в сегнетоэлектрических материалах | Еськов, Андрей Владимирович | 2014 |
| Физико-технологическое моделирование ионно-легированных МОП-транзисторных структур | Леженин, Владимир Петрович | 1998 |
| Разработка конструкции и технологии микрополосковых плат для бесфлюсовой сборки ГИС СВЧ с высокой воспроизводимостью параметров и надежностью изделий | Климачёв, Иван Иванович | 2004 |