Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы
- Автор:
Голишников, Александр Анатольевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2002
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
167 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии | Князев, Максим Александрович | 2007 |
| Моделирование туннельно-резонансного ЯМР квантового компьютера на основе твердотельных наноструктур | Ларионов, Алексей Александрович | 2002 |
| Разработка схемотехнических методов построения ИМС с улучшенными технико-экономическими показателями для систем радиотелекоммуникации | Кобзев, Юрий Михайлович | 1999 |