Физико-технологические основы разработки теплофизических микросистем на основе периодических тепловых процессов

• Автор: Бохов, Олег Сергеевич
• Шифр специальности: 05.27.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2010
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 122 с. : ил.

ВВЕДЕНИЕ
СОДДЕРЖАНИЕ

ГЛАВА 1 .ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИЕ МИКРОСИСТЕМЫ

1.1 Теплофизические микросистемы. Основные направления развития и принципы работы

1.2 Особенности базовых конструкционных элементов теплофизических микросистем.

1.3 Современные подходы к проектированию устройств микросистемной техники

1.4 Заключение по главе 1 и постановка задач работы

ГЛАВА 2 Микро и наноразмерные факторы при конструировании и функционировании микросистем

2.1 Анализ значений критерия Кнудсена при конструировании микросистем

2.2 Анализ применимости критериев Нуссельта и Био при конструировании микросистем

2.3 Заключение по главе 2

ГЛАВА 3 Разработка сенсорной тсплофизической микросистемы на основе теплового периодического волнового процесса.
3.1 Реализация тепловой микросистемы на основе
стационарного теплообмена
3.2 Разработка метода теплофизических измерений на основе периодической тепловой волны.
3.3 Определение параметров конструкции чувствительного элемента теплофизического датчика на основе теплового периодического волнового процесса
3.4 Разработка базовых составляющих технологического маршрута изготовления чувствительного элемента теплофизического датчика
3.5 Заключение по главе 3
ГЛАВА 4 Техническая реализация и исследование универсального чувствительного элемента анемометрического датчика на основе теплового периодического волнового процесса
4.1. Технология изготовления кристалла интегрального универсального чувствительного элемента анемометрического датчика
4.2 Экспериментальное исследование чувствительного элемента универсального анемометрического датчика 0щ
4.3 Термоанемометрический датчик для контроля низкого вакуума
4.4 Заключение по главе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ


Козлов Александр Геннадьевич. Защита состоится «» декабря г. Д 2. Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) по адресу: , Санкт-Петербург, Профессора Попова 5. С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке СПбГЭТУ. Диссертация в виде научного доклада разослана г. В. А. Стр. ГЛАВА 1 . Теплофизические микросистемы. Особенности базовых конструкционных элементов теплофизических микросистем. ГЛАВА 3 Разработка сенсорной тсплофизической микросистемы на основе теплового периодического волнового процесса. Разработка метода теплофизических измерений на основе периодической тепловой волны. Уменьшение геометрических размеров. МСТ различного функционального назначения; гак и элементной базы микро- и наноэлектроники, требует проведения дополнительного анализа применимости ранее известных критериев, моделей, методов оценки процессов теплообмена с учетом размерного фактора. Теоретический анализ, а также дополнительные экспериментальные оценки, необходимы для адаптации и эффективного применения известных пакетов прикладных программ моделирования* теплофизических процессов (например СоуеЩогУаге, 1Ше1 ПЭиНе, Сошбо! МиШрЬуэдо, Апэуэ) при- конструировании устройств МСТ с использованием адекватных параметров, учитывающих изменение условий теплообмена при переходе к микро- и наноразмерам. Следует также отметить, что уменьшение геометрических размеров и массы чувствительных и исполнительных элементов позволяют, используя новые методические подходы и материалы, создавать теплофизические микроприборы с ранее не достижимыми характеристиками в отношении чувствительности, быстродействия и стабильности работы. На период начала данной работы в отечественной и зарубежной литературе практически отсутствовали результаты исследований в области влияния размерных и временных факторов на процесс теплообмена в устройствах микросистемной техники, несмотря на тот факт, что при переходе к микро- и наноразмерам может иметь место сверхвысокая плотность тепловыделения и возникает необходимость диссипации тепла в течение малых промежутков времени в неоднородной среде: твердое тело, жидкость, газ, вакуум.