Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС
- Автор:
Гомжин, Иван Васильевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Воронеж
- Количество страниц:
208 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка и исследование конструкции и технологии высокоэффективных термоэлектрических устройств | Боженарь, Дмитрий Александрович | 2000 |
| Разработка и исследование технологических основ формирования наноструктурированных пленок ZnO методом импульсного лазерного осаждения для чувствительных элементов газовых сенсоров | Замбург, Евгений Геннадьевич | 2015 |
| Акустическая эмиссия монокристаллического кремния в электрических и тепловых полях | Фролов, Владимир Анатольевич | 2000 |