Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС
- Автор:
Гомжин, Иван Васильевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Воронеж
- Количество страниц:
208 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС», автор — Гомжин, Иван Васильевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Воронеж в 2003 году. Объем работы: 208 с. : ил.. Внутренний код товара: 01002619015. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка и исследование объемных ВТСП изделий из иттриевой керамики и электронных устройств на их основе | Новиков, Илья Леонидович | 1998 |
| Технологические основы создания люминесцентного сенсора для определения тяжелых металлов в белках | Наумова, Екатерина Викторовна | 2013 |
| Резонансно-туннельные явления в однобарьерных GaAs/AlAs/GaAs гетероструктурах | Ханин, Юрий Николаевич | 2002 |