Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС
- Автор:
Гомжин, Иван Васильевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Воронеж
- Количество страниц:
208 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС», автор — Гомжин, Иван Васильевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Воронеж в 2003 году. Объем работы: 208 с. : ил.. Внутренний код товара: 01002619015. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Планарные параболические линзы из кремния для жесткого рентгеновского излучения | Григорьев, Максим Валентинович | 2003 |
| Особенности взаимодействия СВЧ-излучения с фотонными кристаллами, содержащими в качестве неоднородностей диэлектрические, полупроводниковые и металлические включения | Пономарев, Денис Викторович | 2012 |
| Исследование и разработка технологии создания мемристоров на основе композитных материалов | Горшков, Константин Викторович | 2012 |