Рентгенодифрактометрическое исследование деформаций гетероструктур кубической и гексагональной систем

• Автор: Галушко, Михаил Анатольевич
• Шифр специальности: 05.27.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2002
• Место защиты: Нальчик
• Количество страниц: 133 с. : ил

Глава 1. Зависимость критической толщины псевдоморфною эпитаксиального слоя от упругих напряжений и величины НИР. Глава II. Континуальная теория упругости многослойных гетероструктур. Уравнения континуальной теории упругости для кристалла, искаженною действием различных источников. Тензор НПР и полная система уравнений континуальной теории упругости гстероструктур. Глава 1. Основные уравнения упруго и пластически деформированного состояния гетероструктур кубической и гексагональной сингоний . Глава IV. Влияние пластической деформации подложки на профиль напряжений и
ГЛАВА I. Деформации и их влияние на физические характеристики эпитаксиальных гетероструктур Изменение ширины запрещенной зоны гетерострукгур посредством выращивания эпитаксиальных пленок твердого раствора заданной концентрации является основой для создания различных приборов фотоники и тверд отельной электроники. Характерным примером таких электронных приборов являются лавинные фотодетекторы, профилированные и сверхрешеточные лазеры, униполярные профилированные выпрямители и биполярные транзисторы с усилением на гетерогранице.


Решение этих фундаментальных проблем позволило бы не только оптимизировать получение самих гетероструктур и СР, но и прогнозировать изменение ряда технических параметров приборов, изготавливаемых па их основе. Цель работы. Создание специальных рентгенодифракционных методов, позволяющих получать информацию о структурных параметрах на основе измерения компонент тензора деформации и кривизны многослойных гетероструктур. Развитие континуальной теории упругости гетероструктур кубической и гексагональной систем с целью расчета величины несоответствия параметров решетки НИР по измеренным рентгенодифракционным РД методом компонентам тензора деформации. Расчет критических толщин псевдоморфных эпитаксиальных слоев с учетом анизотропии упругих свойств и наличием пластической деформации подложки. Разработан РД способ измерения тангенциальной компоненты тензора деформации 8Ху в плоскости гетерограницы. Разработан РД способ определения структурных параметров в четырехслойной гетероструктуре. Разработан рентгенотопографический способ исследования монокристаллов на сателлите акустической сверхрешетки. Проведен расчет критических толщин псевдоморфных слоев с учетом анизотропии упругих свойств системы и наличия определенного знака пластической деформации подложки. Впервые вычислены корреляционные факторы для расчета НИР в гексагональной гетеросгруктуре по измеряемым РД методам компонентам тензора деформации. Разработанные в диссертации методы позволяют определять ряд структурных параметров многослойных эпитаксиальных систем, информация о которых необходима для получения гетероструктур с заданными физическими свойствами. Основные результаты диссертации являются методической основой для способов РД анализа измерения тангенциальной компоненты тензора деформации, толщин переходных областей на гетерограницах и рентгенотопографического метода на сателлите сверхрешетки. Разработанные методы позволяют прогнозировать изменение структурных параметров в процессе изготовления из гетероструктур приборов твердотельной электроники. Развитые в диссертации методы были использованы для контроля технологии при производстве гетеросгруктур соединений А1П ВУ, а также в учебном процессе при чтении лекций по спецкурсам на физическом факультете КабардиноБалкарского госуниверситета. Главные защищаемы положения. Созданы РД способы измерения тангенциальной компоненты тензора деформации 8Х в плоскости гетерограницы и определения структурных параметров в четырехслойных гетсроструктрах. Создан рентгенотопографический способ исследования монокристаллов на сателлите акустической свсрхрешетки. Полученные в результате развития континуальной теории упругости аналитические выражения для корреляционных факторов позволяют рассчитать НИР в гексагональной гетероструктуре по измеряемым РД методам компонентам тензора деформации. Покачано, что при расчете критических толщин псевдоморфных эпитаксиальных слоев в общем случае необходимо учитывать как анизотропию упругих свойств системы, так и пластическую деформацию в подложке. Апробация работы. IV Всесоюзное совещание Дефекты структуры в полупроводниках. Новосибирск. Всесоюзное совещание Проблемы рентгеновской диагностики несовершенства кристаллов. Ереван. Конференция Субструктурное упрочнение металлов и дифракционные методы исследования. Киев. Второе Всесоюзное совещание по всесоюзной межвузовской комплексной целевой программе Рентген. Ереван. IV Всесоюзное совещание по когерентному взаимодействию излучения с веществом. Юрмала. Всесоюзная конференция Динамическое рассеяние рентгеновских лучей в кристаллах с динамическими и статическими искажениями. Ереван. Всесоюзная конференция Динамическое рассеяние рентгеновских лучей в кристаллах с динамическими и статическими искажениями. Ереван. III Всесоюзное совещание по всесоюзной межвузовской комплексной программе Рентген. Ереван. Российская конференция Приборы и техника ночного видения Пальчик. Публикации. Объем и структура диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и основных результатов, изложенных на 3 сраницах текста, включающих рисунков и таблиц. В конце диссертации приведен список литературы из 4 наименований.