Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами
- Автор:
Кирюшина, Ирина Васильевна
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
196 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами», автор — Кирюшина, Ирина Васильевна, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 2003 году. Объем работы: 196 с. : ил. Внутренний код товара: 01002614704. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование способов улучшения тепловых режимов теплонагруженных микроэлектронных устройств | Палий, Александр Викторович | 2007 |
| Тепловой удар в системах металлизации на кремнии при импульсных токовых воздействиях | Пирогов, Александр Васильевич | 1999 |
| Исследование и разработка кремниевого многоцелевого координатного детектора радиационных частиц и излучений | Удалов, Василий Андреевич | 2006 |