Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами
- Автор:
Кирюшина, Ирина Васильевна
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
196 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка и исследование технологии высокоскоростного осаждения аморфного гидрогенизированного кремния и его сплавов в плазме низкочастотного разряда | Бердников, Аркадий Евгеньевич | 2001 |
| Физико-технологические основы формирования контактов к карбиду кремния методами импульсной термообработки | Агеев, Олег Алексеевич | 2005 |
| Формирование и электрические свойства планарных элементов на основе металлических и углеродных пленок наноразмерных толщин | Булатов, Андрей Николаевич | 2005 |