Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака
- Автор:
Новоселов, Константин Петрович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2000
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
101 с.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака», автор — Новоселов, Константин Петрович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 2000 году. Объем работы: 101 с.. Внутренний код товара: 01000290864. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Методы моделирования СБИС с использованием полунатурной модели МОП-транзистора | Денисенко, Виктор Васильевич | 2010 |
| Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники | Орликовский, Николай Александрович | 2012 |
| Осаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений | Поляков, Вадим Витальевич | 1995 |