Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака
- Автор:
Новоселов, Константин Петрович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2000
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
101 с.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка и исследование технологических основ создания пленок полимерных нанокомпозитов с углеродными наноструктурами для устройств микроэлектронной сенсорики | Сюрик, Юлия Витальевна | 2012 |
| Тонкопленочная технология изготовления функциональных элементов газовых сенсоров | Куликов, Дмитрий Юрьевич | 2007 |
| Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами | Бейсенханов, Нуржан Бейсенханович | 2011 |