Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления
- Автор:
Изюмов, Михаил Олегович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2001
- Место защиты:
Ярославль
- Количество страниц:
159 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления», автор — Изюмов, Михаил Олегович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Ярославль в 2001 году. Объем работы: 159 с. : ил. Внутренний код товара: 01000338315. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Особенности электролюминесценции Er-содержащих центров с линейчатыми спектрами излучения в кремниевых эпитаксиальных структурах | Кудрявцев, Константин Евгеньевич | 2013 |
| Фотопроводимость и фотолюминесценция эпитаксиальных пленок и структур с квантовыми ямами на основе HgCdTe в среднем и дальнем инфракрасном диапазоне | Румянцев, Владимир Владимирович | 2014 |
| Автогенераторы на микрополосковых и объемных резонаторах с поликристаллическим ферритовым заполнением и магнитно-режективной перестройкой | Антонов, Игорь Николаевич | 2006 |