Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления
- Автор:
Изюмов, Михаил Олегович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2001
- Место защиты:
Ярославль
- Количество страниц:
159 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка отдельных базовых процессов формирования активных областей силовых кремниевых транзисторов | Шангереева, Бийке Алиевна | 2006 |
| Долговечность интегральных схем и методы ее прогнозирования | Строгонов, Андрей Владимирович | 2006 |
| Исследование магнитоэлектрических фильтрующих СВЧ устройств с электрическим управлением на основе слоистых феррит-пьезоэлектрических материалов | Татаренко, Александр Сергеевич | 2006 |