Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления
- Автор:
Изюмов, Михаил Олегович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2001
- Место защиты:
Ярославль
- Количество страниц:
159 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Магнитоэлектрический эффект в многослойных плёночных структурах ферромагнетик - пьезоэлектрик | Остащенко, Артём Юрьевич | 2006 |
| Генерация и детектирование терагерцового излучения в полупроводниковых наноструктурах A3B5 | Маремьянин, Кирилл Владимирович | 2007 |
| Диагностические методы оценки надежности интегральных схем с использованием шумовых параметров | Смирнов, Дмитрий Юрьевич | 2006 |