Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления
- Автор:
Изюмов, Михаил Олегович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2001
- Место защиты:
Ярославль
- Количество страниц:
159 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование и разработка методов снижения энергопотребления при проектировании микропроцессорных СБИС | Лобанова, Анна Юрьевна | 2012 |
| Атомарная структура поверхности и сенсорные свойства углеродных нанотрубок | Строганов, Антон Александрович | 2007 |
| Численное исследование коллективных процессов в микроэлектронных структурах и оптимизация приборов больших интегральных схем | Стрелкова, Надежда Григорьевна | 2009 |