Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления
- Автор:
Изюмов, Михаил Олегович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2001
- Место защиты:
Ярославль
- Количество страниц:
159 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Интегральные полупроводниковые матричные преобразователи магнитного поля | Шубин, Сергей Викторович | 2000 |
| Разработка и исследование LOW-g электростатических микроэлектромеханических генераторов | Доржиев, Виталий Юрьевич | 2016 |
| Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом | Абрамова, Елена Александровна | 2003 |