Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления
- Автор:
Изюмов, Михаил Олегович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2001
- Место защиты:
Ярославль
- Количество страниц:
159 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления», автор — Изюмов, Михаил Олегович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Ярославль в 2001 году. Объем работы: 159 с. : ил. Внутренний код товара: 01000338315. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Структура и транспортные свойства свободновисящих однослойных углеродных нанотрубок | Касумов, Юсиф Алекберович | 2005 |
| Микромагнетизм и физические свойства ферромагнитных планарных наноструктур и наноконтактов | Звездин, Алексей Анатольевич | 2005 |
| Фотостимуляция твердотельных сенсорных структур на основе кремния и полиэлектролитного покрытия | Козловский, Александр Валерьевич | 2019 |