Исследование процесса формирования изображения мягким рентгеновским и вакуумным ультрафиолетовым излучением в микролитографии
- Автор:
Душенков, Сергей Дмитриевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1985
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
141 c. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных систем для интегральной электроники | Саркаров, Таджидин Экберович | 2002 |
| Разработка технологических основ формирования гибких электродов суперконденсаторов на основе полианилина, модифицированного соединениями кремния и циркония | Моисеева, Татьяна Анатольевна | 2016 |
| Рентгенодифрактометрическое исследование деформаций гетероструктур кубической и гексагональной систем | Галушко, Михаил Анатольевич | 2002 |