Исследование процесса формирования изображения мягким рентгеновским и вакуумным ультрафиолетовым излучением в микролитографии
- Автор:
Душенков, Сергей Дмитриевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1985
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
141 c. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Исследование процесса формирования изображения мягким рентгеновским и вакуумным ультрафиолетовым излучением в микролитографии», автор — Душенков, Сергей Дмитриевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 1985 году. Объем работы: 141 c. : ил. Внутренний код товара: 01003433292. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование акустического переноса зарядов в гетероструктурах на основе арсенида галлия | Егоркин, Владимир Ильич | 2003 |
| Исследование и разработка моделей быстродействующих микроэлектронных коммутаторов на основе туннельно-связанных квантовых областей | Аль-Саман Амгад Али Хасан | 2018 |
| Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы | Голишников, Александр Анатольевич | 2002 |