Исследование процесса формирования изображения мягким рентгеновским и вакуумным ультрафиолетовым излучением в микролитографии
- Автор:
Душенков, Сергей Дмитриевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1985
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
141 c. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Исследование процесса формирования изображения мягким рентгеновским и вакуумным ультрафиолетовым излучением в микролитографии», автор — Душенков, Сергей Дмитриевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 1985 году. Объем работы: 141 c. : ил. Внутренний код товара: 01003433292. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Фасетирование при локальной твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии кремния на кремнии | Изюмская, Наталия Федоровна | 1999 |
| Разработка и исследование методов и средств проектирования микросистем с интегральными термоэлементами | Кравченко, Ирина Владимировна | 2004 |
| Разработка технологии изготовления и исследование характеристик сенсоров диоксида азота и хлора на основе пленок полиакрилонитрила | Лу Пин | 2012 |