Восстановление данных послойного ВИМС-анализа сверхтонких структур

• Автор: Макаров, Владимир Викторович
• Шифр специальности: 05.27.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1999
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 94 с. : ил.

1.1 Определение функции разрешения.

Общие закономерности.

Условия корректного измерения функции разрешения

1.2 Форма функции разрешения.

1.3 Выбор и применение процедуры восстановления данных

Глава 2. Измерение функции разрешения для послойного анализа

методом ВИМС.

2.1 Введение

2.2 Экспериментальные условия измерений.

2.3 Сравнение функций разрешения при различных условиях анализа.

2.3.1 Характеристика функции разрешения .

2.3.2 Положение функции разрешения на шкале глубин
2.3.3 Сравнение характеристической длины спадания заднего фронта
функции разрешения при различных условиях анализа.
2.3.4 Влияние индуцированного ионной бомбардировкой рельефа на
параметры разрешения
Глава 3. Функция разрешения при послойном анализе методом ВИМС
3.1 Аппроксимация функции разрешения при послойном анализе методом
ВИМС
3.1.1 Форма аппроксимирующей функции
3.1.2 О процедуре подгонки параметров аппроксимирующей функции
3.2 Свойства аппроксимирующих функций.
3.2.1 Свойства сдвоенной экспоненциальной функции.
3.3 О применении неполных функций разрешения для восстановления
данных послойного анализа.
Глава 4. Восстановление данных послойного анализа методом
максимальной энтропии
4.1 Формализм восстановления данных методом максимальной
энтропии
4.2 Об учете зашумленности данных послойного анализа методом ВИМС
при их восстановлении.
4.3 Восстановление данных послойного анализа методом максимальной
энтропии на примере 6легированной структуры
4.3.1 Восстановление данных с полной функцией разрешения
4.3.2 Восстановление данных с неполной функцией разрешения .
ВЫВОДЫ
Литература


В настоящей главе речь пойдет лишь о важнейших закономерностях, определяющих послойное разрешение при анализе планарных, однослойных и достаточно гомогенных образцов, содержащих
примеси в концентрациях, не превышающих 1 ат. Отдельно будут рассмотрены условия корректного измерения функции разрешения. В последнем десятилетии, благодаря развитию технологии низкотемпературной молекулярнолучевой эпитаксии, стало возможным создание т. Послойный анализ таких образцов напрямую дает форму функции разрешения для соответствующих условий анализа. Большинство рассматриваемых в настоящей главе данных было получено на 5струкгурах. Послойное разрешение при анализе методом ВИМС принято характеризовать характеристическими длинами экспоненциального подъема переднего фронта Х и спада заднего фронта Аа сигнала при послойном анализе б распределения ,. Общие закономерности. В соответствии с каскадной теорией Зигмунда число частиц образца, смещенных в результате каскада столкновений, вызванного первичным ионом, тем больше, чем больше энергия иона, в результате чего разрешение методов анализа, использующих ионное распыление образца, ухудшается с ростом энергии первичных ионов. Эта закономерность была подтверждена большим количеством экспериментальных исследований ,, проведенных на различных образцах Б1, ЗаАя, 1пР и др. В, А1, ве и др. СЬ , 2 , Сб1 в интервале энергий ионов от 1 до кэВ. При этом отмечалось, что при одинаковых условиях анализа Хи проявляет очень слабую зависимость от того, какая примесь и в какой матрице анализируется.