Акустическая эмиссия монокристаллического кремния в электрических и тепловых полях

• Автор: Фролов, Владимир Анатольевич
• Шифр специальности: 05.27.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Ульяновск
• Количество страниц: 127 с. : ил.

1. Состояние вопроса и задачи исследования

1.1. Изгибные волны в пластинах

1.2. Акустическая эмиссия в твердых телах

1.3. Полупроводниковые структуры в возмущающих электрических и тепловых полях

1.4. Влияние различных обработок на подвижность дислокаций

в кристаллах.

2. Возбуждение изгибных колебаний и акустической эмиссии. Методы их исследования

2.1. Аппаратурное оформление. Возбуждение и регистрация изгибных колебаний кремниевых пластин

2.2. Подготовка объектов исследований.

2.2.1. Формирование тестовых структур

2.2.2. Введение и регистрация пробегов индивидуальных дислокаций.

2.3. Исследование дислокационного энгармонизма в кремнии . .
2.4. Возбуждение и регистрация акустической эмиссии
2.5. Дискретное преобразование Фурье .
3. Изгибные колебания кремниевых пластин при наличии импульсного источника возмущения
3.1. Анализ изгибных колебаний, вызванных механическим ударом .
3.2. Анализ изгибных колебаний, вызванных тепловым ударом
4. Акустическая эмиссия дислокационного кремния при токовых и тепловых воздействиях
4.1. Определение характера дислокациоппой структуры методом составного вибратора.
4.2. Влияние переходных процессов на акустическую эмиссию .
4.3. Активационные барьеры, преодолеваемые дислокациями при
их возмущении электрическим током.
4.4. Наблюдение за пробегами индивидуальных дислокаций . .
4.5. Моделирование движения краевой дислокации .
4.5.1. Постановка задачи
4.5.2. Описание модели
Основные результаты и выводы
Литература


Листинг библиотеки x 2
две отличные от нуля компоненты тензора напряжений охг и ауг и одну компоненту скорости движения среды ьг. Первое слагаемое в 1. Значение компонент упругого поля для этой части излучения в любой момент времени определяется характером изменения ускорения дислокаций во все предшествующие моменты. При ПОСТОЯННОЙ скорости движения дислокаций это слагаемое обращается в ноль. Второй член в 1. Пространственновременная форма этого импульса существенно отличается от формы импульсов, создаваемых нестационарно движущимися дислокациями, а его интенсивность определяется лишь относительной скоростью дислокаций и в момент столкновения. Для оценки величины энергии, выделяющейся при аннигиляпди, авторы производят преобразование Фурье второго слагаемого в 1. Еаии2,П6 1Л5 где длина дислокации. Данное выражение представляет собой линейную плотность кинетической энергии относительного движения дислокаций. Следовательно, при аннигиляции винтовых дислокаций излучается кинетическая энергия, которую они имели в момент столкновения. Для краевых дислокаций разного знака, движущихся в одной плоскости скольжения компоненты упругого поля имеют вид
где v 1, 2, . Таким образом, звуковое излучение в случае двух сближающихся краевых дислокаций, как и в случае винтовых, имеет составляющую, обусловленную нестационарностью движения в моменты времени, предшествующие столкновению, и составляющую, возникающую в момент столкновения вследствие аннигиляции дислокаций. Однако обе составляющих кроме цилиндрических волн сдвига содержат также и цилиндрические продольные волны, распространяющиеся со скоростью с.