Разработка способов переработки твердых и жидких отходов производства поликристаллического кремния

• Автор: Чапыгин, Анатолий Михайлович
• Шифр специальности: 05.17.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2005
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 125 с. : ил.

Условные обозначения и сокращения. Глава 1. Литературный обзор. Переработка и обезвреживание твердых и жидких отходов производств ТХС и ПКК. Переработка и нейтрализация жидких отходов производств ТХС ПКК. Свойства полисиланхлоридов и полисилоксанхлоридов . Области использования ПСХ и ПСОХ. Области использования ПСОХ. Глава 2. Исследования процессов переработки твердых отходов передела синтеза ТХС, с использованием процесса выщелачивания. Исследования процессов гидрохлорирования отходов кремния после выщелачивания. Глава 3. Экспериментальные исследования переработки и нейтрализация жидких отходов производств ТХС и ПКК. Разработка методов хроматографического анализа кубовых остатков производств ТХС и ПКК. Исследования процессов переработки жидких отходов производств ТХС и ПКК методом хлорирования. Хлорирование трихлорсштнаНС. Хлорирование пентахлордисилоксанагОСЬН. Хлорирование 2С. ТХС и ПКК, содержащих ПСХ и ПСОХ. Исследования процессов хлорирования жидких отходов производств ТХС и ПКК в газовой фазе.


При температурах и расходе хлористого водорода 0,1 0,3 лмин в продуктах реакции наряду с ТХС и ТК всегда содержались i и i в количестве от 7 до мае. Было установлено, что процесс гидрохлорирования i2 протекает в две стадии вначале термическое разложение соединения и затем взаимодействие образующегося монохлорида кремния с НС1. Одним из главных недостатков этого процесса является неполная переработка ПСХ. При указанных технологических режимах в продуктах реакции остаточное содержание Г1СХ составляет 7 . Использование в качестве катализатора апротонных органических соединений азота или фосфора позволяет перерабатывать полисиланхлориды с температурами кипения от до 0С с получением как тетрахлорида кремния, так и трихлорсилана 6. В качестве исходных ПСХ используют i и i2I5 или их смеси. В качестве катализатора пиридин. Показано, что i2 диспропорционирует на трихлорсилан и твердый остаток i2, а i образует теграхлорид кремния. При переработке смеси указанных продуктов превращению подвергается сначала только i2, а затем, после отгонки ТХС, диспропорционирует i2. Образующийся в процессе переработки монохлорид кремния нейтрализуют постепенным добавлением воды или спирта. Недостатками данного способа, с одной стороны, является применение высокотоксичного катализатора пиридина, с другой образование опасного продукта монохлорида кремния. Смеси хлорсиланов, загрязненные хлоридами металлов, подвергают высокотемпературному гидролизу 7. Известны также способы гидролиза хлорсиланов в водной или кислой среде.