Исследование и разработка технологии очистки хлорсиланов

• Автор: Кох, Александр Аркадьевич
• Шифр специальности: 05.17.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2005
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 192 с. : ил.

Условные обозначения, использованные при написании работы. ГЛАВА 1. Источники лимитирующих примесей в хлорсиланах. Химические формы примесей в хлорсиланах, исходных и промежуточных продуктах их получения. Поступление примесей из исходных продуктов. Углеродсодержащие примеси в электролитическом водороде, хлоре и хлористом водороде. Химические формы углсродсодсржащих примесей в хлорсиланах. Методы очистки хлорсиланов. Очистка хлорсиланов химическими методами. ГЛАВА 2. Исследование очистки трихлорсилаиа в расплаве хлоридов металлов . ГЛАВА 3. Изучение вопросов очистки тетрахлорида кремния и трихлорсилаиа, полученных на производстве кремнеорганических соединений, до продуктов полупроводниковой степени чистоты. Идентификация углеродсодержащих примесей в техническом тетрахлоридс кремния и разработка способа очистки тетрахлорида кремния от углеродсодержащих примесей. Ректификационная очистка трихлорсилаиа, полученного на производстве кремнеорганических соединений. Ректификационная очистка трихлорсилаиа на производстве АО Силан г.


Кроме того, возможно существование в ТХС простых нестабильных соединений бора, устойчивых только при определенных условиях или в равновесии с другими соединениями бора. Из такого рода соединений наиболее вероятным представляется существование различных промежуточных продуктов гидролиза хлоридов бора, т. Известно также, что отстаивание ТХС в течение длительного времени может снизить концентрацию примесей бора 8, следовательно, вполне вероятно, что часть примесей бора присутствует в виде твердых взвешенных частиц 4 или же коллоидных частиц. ХС кислородсодержащих примесей Н, и др Однако, снижение концентрации примесей бора при отстаивании может свидетельствовать и о стабилизации лабильных форм примесей в течении времени отстаивания с переходом их в более термодинамически устойчивые формы, в том числе и в нерастворимые в ХС соединения, которые постепенно оседают при длительном отстаивании например, это могут быть комплексы бора с хлоридами алюминия и железа. Источники лимитирующих примесей в хлоренлаиах. Очевидно, что источниками примесей в хлорсиланах в общем случае являются исходные продукты синтеза ХС технический кремний и хлористый водород материалы аппаратуры случайные источники примесей из атмосферы, продувочных газов, охлаждающих агентов в случае разгерметизации аппаратуры или протечки и т. В данном разделе приведена информация по источникам основных лимитирующих примесей в хлорсиланах и по вероятным химическим формам этих примесей в исходных продуктах и в самих хлорсиланах. Поступление примесей из материалов аппаратуры.