Разработка методов синтеза и обработки наноразмерных пленок

• Автор: Тупик, Виктор Анатольевич
• Шифр специальности: 05.16.09
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2011
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 332 с. : ил.

Глава 1. Методы синтеза фрактальных наиоразмерньтх структур. Глава 2. Глава 3. Возможности метода ионноэлектронной эмиссии для литографии. Глава 4. С точки зрения многовариантности наилучшим агентом являются различные физические поля, в том числе и электромагнитные, однако применение физических полей, не имеющих собственной пространственной структуры, не позволяет активно воздействовать на процессы самоорганизации. Наиболее простыми случаями формирования сильно неравновесного состояния при синтезе тонких пленок являются процессы, происходящие при взаимодействии излучения с веществом. В этом случае реализуется классическая открытая систе
ма, подвергающаяся притоку энергии извне. Простейший вид такого воздействия это облучение потоком заряженных или нейтральных частиц или квантов электромагнитного поля. При плазмостимулированном напылении поликристаллических магнитных пленок под воздействием внешнего электрического поля, как технологического фактора, обнаружено резкое изменение электрических и магнитных свойств синтезируемых пленок при определенных толщинах, что связывается с изменением блочной структуры этих пленок под воздействием поля .