Автоматизация проектирования подгоночных траекторий коррекции пленочных резисторов гибридных интегральных схем

• Автор: Антонов, Юрий Николаевич
• Шифр специальности: 05.13.12
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1999
• Место защиты: Ульяновск
• Количество страниц: 118 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ МЕТОДОВ ПОДГОНКИ ПЛЕНОЧНЫХ

РЕЗИСТОРОВ

1.1. Объекты и цели исследования.

1.2. Анализ конструктивнотехнологических возможностей обеспечения точности сопротивления резисторов

1.3. Анализ методов подгонки резисторов.

1.3.1. Подгонка с изменением свойств резисторов

1.3.2. Подгонка с изменением размеров резисторов.

1.4. Анализ конструкций пленочных резисторов и приемов подгонки. .

1.4.1. Односекционные резисторы

1.4.2. Многосекционные резисторы. . .
1.5. Анализ принципов программного управления подгонкой.
Научнотехнические задачи работы
ГЛАВА 2. АВТОМАТИЗАЦИЯ ПРОЕКТИРОВАНИЯ
ТРАЕКТОРИЙ ПОДГОНКИ
2.1. Формирование модели траектории подгоню
2.1.1. Модели траектории и критерии оптимизации.. . . .
2.1.2. Формирование математической модели с помощью
подсистемы базисных функций
2.2. Расчет пленочных резисторов для формирования траектории
подгонки
2.2.1. Расчет резисторов в соответствии со списком сопротивлений. . . .
2.2.2. Расчет резисторов с применением позиционных систем счисления
2.2.3. Расчет резисторов с использованием возвратных последовательностей
2.3. Автоматизированное проектирование траекторий подгонки
2.3.1. Экспертная поддержка САПР.
2.3.2. Функции программного обеспечения САПР.
2.3.3. Формирование декларативной базы знаний подгонки.
з
ГЛАВА 3. УПРАВЛЕНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННЫМ
ПРОЦЕССОМ ПОДГОНКИ.
3.1. Структура условий подгонки.
3.2. Программное управление подгонкой.
3.2.1. Распознавание объектов и ситуаций
3.2.2. Описание действий по обработке подложек.
3.2.3. Логическая структура базы данных.
ВЫВОДЫ.
ГЛАВА 4. УСТАНОВКА АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ
ПОДГОНКИ РЕЗИСТОРОВ УАПР.
4.1. Модели для исследования УАГГР.
4.1.1. Функциональная модель УАПР.
4.1.2. Структурная модель УАПР
4.2. Цели разработки УАПР.
4.3. Программнотехнические средства УАПР.
4.3.1 .Конструкция АМЦ 4
4.3.2. Состав программного обеспечения. .
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА


Благодаря этому, они являются обязательными элементами конструкции в различных направлениях микроэлектроники, где требуется высокая надежность, точность и теплопроводность. Основными типами выпускаемых ГИС являются линейные, цифровые, оптоэлектронные и радио-микроволновыс схемы. Сфера их широкого применения: автомобильная электроника, техника связи, автоматика, приборостроение, бытовая и промышленная электроника. В промышленной электронике ГИС используются при наладке функций с помощью лазера для достижения определенных свойств. Широкое применение за рубежом Г/' находят в военной и космической технике. Большое число микроэлектронных устройств разрабатывается в виде больших гибридных интегральных микросхем. Пленочные резистивные элементы 4жются одними из основных компонентов ГИС. На их долю приходится до -бСо тощего количества элементов схемы. Особенностями пленочных резистивных, т" “'"тентов являются малые габариты и масса, высокая надежность, высока; тс:-. Сопротивление пленочного резистора влияет на значения выходных параметров ГИС и на свойства разрабатываемой электронной техники. В связи с этим, изготовление резисторов, сопротивление которых соответствует нормативным значениям или значениям, определяемым потребителем, является актуальной зада чей микроэлектроники. Основное направление, обеспечив: :. Данное направление позволяет достигнуть определенного уровня качества резисторов и поддерживать его. Однако резистивные материалы и технологические процессы, из-за действия различных дестабилизирующих факторов, не позволяют изготавливать пленочные резисторы, непосредственно удовлетворяющие требованию потребителей. Перед изготовителями электронной техники возникает ситуация, когда они не в состоянии традиционными методами производить конструкции с требуемыми свойствами. Это вызывает необходимость развивать направление, связанное с нормированием величины сопротивления пленочных резисторов в соответствии с требованиями потребителей. Реализация этого направления связана с применением оборудования для подгонки резисторов, обеспечивающего достижение нормативного значения сопротивления. Laser systems A. СНГ НИИ КОНТРОЛЬПРИБОР (г. Пенза), з-д "Квант” (г. Функционирование подобного оборудования связано с проблемой разработки эффективного алгоритма управления подгонкой. ГЛАВА 1. Пленочные резистивные элементы являются компонентами гибридных инте-Ф&чыгых схем (ГИС) и при их производстве учитываются: требования потребителей, свойства материалов и возможности технологии производства. Технологический процесс изготовления резисторов представляет собой целенаправленную деятельность О во времени и пространстве. Механизм деятельности использует три вида действий: преобразование состояния, изменение различия и применение оператора. Ц, (1. Г - множество целевых состояний. И, ),. М-1>, И, 1м), (1. Цель деятельности! Р>Н}, (1. Ртр- Отр» Ртр. Рту„ НТр имена свойств, параметров и их значений, соответствующих требуемым. Если имена свойств (I и 1-гр) и параметров (Р и Р^) эквивалентны, а значение параметра Н не хуже Н-рр, то резисторы Кк и И1р являются аналогами. Р»ОЬ (1. Ри-множествопараметров, не удовлетворяющих требованиям. Ь2={ГТр,ОЬ (1. Для достижения требуемых свойств резисторов определяются связанные С НАМИ параметры, которые становятся сами целями (подцелями) и требуют выявления параметров нижнего уровня. Образуется дерево целей, при построении которого используется таблица параметров (Пр. Цель изготовления резисторов Ь, сформулированная на основе требований потребителей, позволяет на базе связей параметров сформировать дерево целей, один из вариантов которог о представлен па рис. С помощью дерева целей можно определить наиболее важные, относительно поставленной цели Ь, параметры, являющиеся ее подцелями. Деятельностью по изготовлению пленочных резисторов с требуемыми значениями сопротивления можно считать путь по дереву до выбранной подцели. Объектом исследования является процесс нормирования сопротивления пленочных резисторов с помощью подгонки. Цель исследования - разработка системы автоматизированного проектирования траектории подгонки для обеспечения нормирования сопротивления пленочных резисторов.