Разработка программно-аппаратного комплекса для диагностики и управления газовыми потоками в реакторах для быстрых термических процессов

• Автор: Бархоткин, Андрей Вячеславович
• Шифр специальности: 05.13.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1999
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 180 с. : ил

СОДЕРЖАНИЕ. Введение. Глава 1. Методы диагностики парамет ров ЛТСУО. Системы управления температурой подложки в быстрых термических процессах. Постановка задачи диссертационной работы. Глава 2. Разработка динамической модели автоматического управления газовыми потоками в гетерогенных быстрых термических процессах реакционной конденсации. Исследование газодинамических режимов численным моделированием с использованием программы ПЭЛР. Определение динамических характеристик газофазных процессов в КТСУЕ мет одом активной идентификации. Техническая реализация метода голографической интерферометрии. Интерпретация интерференционных полос в радиальносимметричном фазовом объекте. Расчет поля показателей преломления газовой фазы. Расчет хода интерференционных полос для постоянной оптической плотности газовой фазы. Исследование влияния параметров процесса и геометрии рабочей зоны реактора на изменение оптической плотности газовой фазы. Глава 3. Проблемы, связанные с программным и аппаратным обеспечением при визуализация газофазных процессов методом голографической интерферометрии в реальном времени.


Методы измерения температуры подложки у каждого производителя оборудования для быстрых термических процессов могут отличаться, однако в настоящее время в промышленных установках используются, как правило, термоэлектрические и фотонные датчики. Косвенные измерения температуры подтожки осуществляются по контролю мощности нагрева излучателей. Совершенного решения при измерении температуры дтя различных типов установок нет, температурные измерения адаптируются для каждой конкретной установки, для каждого конкретного процесса. Чаще всего в одной установке сочетаются все перечисленные методы температура измеряется пирометром, он калибруется с помощью термопары тщательно контролируется мощность, подводимая к излучателям 4. Точность термопарных измерений зависит от воспроизводимости термического контакта термопары с поверхностью
пластины, стабильности свойств термоэлектрических материалов, от взаимодейст вия термоэлектродов со средой в реакторе , . В пирометрии результаты измерений зависят от эмиссионных свойств пластины, топологии, состава и толщины пленок, формирующихся в процессе обработки, состояния поверхности и геометрии реакционной камеры и ее элементов, состава газовой фазы. Как правило, в пирометрии обращаются к радиационной, яркостной и цветовой условным температурам. Соответственно различают пирометры радиационные, монохромагические и пирометры спектрального отношения 4. Радиационные пирометры пирометры полного излучения, воспринимают излучение без искажений, то есть неселективно во всем спектре.