Методология создания автоматизированных систем обеспечения стабильности условий роста монокристаллов в электротермических установках

• Автор: Юдин, Алексей Викторович
• Шифр специальности: 05.13.06
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2011
• Место защиты: Рыбинск
• Количество страниц: 327 с. : ил.

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. Анализ и классификация промышленных установок направлен

ной кристаллизации

Установки гидротермального синтеза

Литейные установки направленной кристаллизации

Установки кристаллизации монокристаллов из расплава

Установки для получения монокристаллов в контроли руемой газовой среде

Установки для получения монокристаллов в вакууме

Обобщенные требования к системам управления установками направленной

кристаллизации

Критерии эффективности регулирования температурного поля

ГЛАВА 2. Оптимизация структуры регулирующего органа для целей на
правленной кристаллизации
Способы формирования напряжения в регуляторах мощности
Анализ влияния спектра мощности тепловыделения на неста бильность
температуры
Анализ влияния спектра индуцированной мощности на неста бильность
температуры
Анализ распределения плотности тока индуцированного одиночным проводником
Анализ распределения напряженности магнитного поля 2 системы параллельных
проводников
Формализация процесса управления дискретным регулятором
Модели многокомпонентных регуляторов
Аддитивные и мультипликативные многокомпонентные 5 дискретные регуляторы
Оценка качества цифрового регулятора напряжения
2.5 Структурные особенности цифрового регулятора напряжения
Матричные модели коммутационных исполнительных структур
Эквивалентная схема коммутационных исполнительных структур
6
0
3
3
7
3
5
1
0

Матричные модели типовых коммутационных исполнительных структур
Соединения типовых схем коммутаторов
ГЛАВА 3. Моделирование цифровых регуляторов переменного напряжения
Обобщенная модель цифрового регулятора напряжения
Идеальный цифровой регулятор напряжения
Реальный цифровой регулятор напряжения
Оценка фактора нестабильности питающей сети при проектировании прецизионных
регуляторов напряжения.
Матричные модели дискретных регуляторов
Сущность метода объединенных матриц
Формирование топологических матриц трансформаторноключевых регулирующих
элементов
Энергетические соотношения в электромагнитных цепях
Времявариантное регулирование
Времявариантный регулятор с улучшенной регулировочной характеристикой
Распределение уровней напряжения в регуляторе мощности при амплитудном
регулировании
ГЛАВА4. Моделирование многомерных термических объектов
Линеаризация модели многомерного термического объекта
Анализ простейшего двухзонного термического объекта
Дискретная модель нестационарного теплового процесса
Моделирование многозонных термических объектов в форме пространства состояний
Многомерные термические объекты с термостатическими зонами
Моделирование теплового режима электротермических устано 2 вок с регулярными
структурами
Потенциальное воздействие на каскад инерционных элементов
Электромагнитная модель многокомпонентного высокотемпера 1 турного
нагревателя
Электротермическая цепь
ГЛАВА 5. Стабилизация фронта кристаллизации
Постановка задачи оптимального управления многозонным тер 2 мическим
объектом
Оптимальное управление многозонным термическим объектом с 7 прогнозирующей
моделью

Оптимальное управление частичноуправляемым многозонным 5 термическим
объектом
Расчет статического оптимального управления
Расчет оптимального управления в динамике
Синтез корректирующих звеньев для динамической стабилиза 6 ции градиента
Стабилизация скорости кристаллизации в литейных установках
Оптимизация управления вспомогательными технологическими 3 параметрами
4

Стабилизации скорости кристаллизации с помощью беспоиско 7 вой адаптивной
системы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ


ГЛАВА 1. ГЛАВА 2. ГЛАВА 3. ГЛАВА4. ГЛАВА 5. Очень ответственный этап. Предметом исследования являются способы автоматизации указанных процессов. Методы исследования. Некоторые из них не встречаются в природе. Синтетические кристаллы кварца получают в гидротермальных условиях. Полупроводниковые приборы
Сапфир корунд. Качество сапфира определяется количеством и типом дефектов. Сорта являются оптическими сорта рассматриваются как технические. Киропулоса. В печь помещн тигель с поликристаллическим сырьм. Несмотря на это, такие подходы обладают ограниченными возможностями. Распределение температур в кристаллизаторе формирует фронт кристал
лизации. Все эти факторы тесно связаны. На рис. Втм С, что обусловлено наличием тепловых экранов. Втм. Рис. В установках гидротермального синтеза автоклавах наблюдается схожая ситуация. А, 0 Гц А, 0 Гц 2 А и так далее. Втм3. Ам, индуцированная мощность Втм3. Ам, Лм и 3 Втм1 соответственно. Втм3. Втм3. Зоны 8 и 9 на рис. Рис. Различные методы и оценка их эффективности рассмотрены в первой главе. ТКРЭ, увеличивая ее стоимость. Возможны различные варианты решение задачи. Это связано с особенностью конструкции ЭТУ. ЭТУ. С помощью ФСГТИ проведен анализ спектрального состава мощности. ЭТУ и снижает е КПД. Вт. КПД и улучшение условий роста монокристаллов. ЦРН на основе трансформаторных структур.