Разработка методов сканирующей зондовой микроскопии для изучения механических и топологических характеристик поверхностей

• Автор: Гоголинский, Кирилл Валерьевич
• Шифр специальности: 05.13.05, 01.04.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 164 с. : ил.

Электронные микроскопы. Нанэлндентирование. Методы сканирующей зсндоврй микроскопии1. Общие принципы сканирующей зондовой микроскопии . Методы контроля структуры и механических свойств Материалов с помошью СЗМ. Режим отображения модуляции силы i Ii . ГЛАВА II ОБЩАЯ ФУНКЦИОНАЛЬНАЯ СХЕМА И ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ . УПРАВЛЯЮЩАЯ ЭЛЕКТРОНИКА . Измерительная головка. А. Назначение и характеристики устройств измерительной головки . ВибрОИЗ ОЛЯЦАЯ. Система позиционирования. Система визуализации образца
4. Описание конструкции и принципов работы зонда . Анализ шумов автогенерагорной схемы возбуждения зонда. Механическая модель. Модель контакта острия с поверхностью. Измерение карт механических свойств поверхностей. Измерение твердости. Конструкция К сканера. Описание работы ХУ и 2 сканеров в режиме инерционных двигателей. ВИБРОЗАЩИТА. Физическая модель. Исследование спгетрального состава сейсмических шумов в лабораторных помещениях. ГЛАВА IV УПРАВЛЯЮЩАЯ ЭЛЕКТРОНИКА. Функциональная схема. Назначение отдельных блоков электроники.

Получение изображения псевдорельефа, соответствующего

механическим параметрам поверхности в процессе ее сканирования картографирование механических свойств . Подобные методы позволяют контролировать не только структуру поверхности, но и распределение составляющих в композиционных материалах путем исследования среза или шлифа. Подобные методы контроля механических СВОЙСТВ С ПОМОЩЬЮ СЗМ характеризуются высоким пространственным разрешением от субмикронного до нанометрового, чувствительностью и относительной простотой. Их применение актуально для исследований и технологического контроля тонких пленок, ультрадисперсных твердых сплавов, современных композиционных материалов. Однако на сегодняшний день широкое распространение подобных методик сдерживается сложностью и относительно высокой стоимостью оборудования, а также отсутствием методов количественного анализа и интерпретации получаемых результатов. Ниже описаны наиболее распространенные методы контроль механических свойств материалов с помощью СЗМ. Кривые подводаотвода. Одним из наиболее развитых как в экспериментальном, так и в теоретическом плане является метод исследования свойств поверхностей путем измерения кривых подзодаствода так называемая силовая спектроскопия. Суть данного метода заключается в том, что острие зонда АСМ перемещается пьезоприводом перпендикулярно к плоскости поверхности образца. При этом записывается зависимость силы взаимодействия острия с поверхностью от его перемещения 2, . По полученным кривым определяются поверхностные силы и механические свойства материала в точке контакта.