Разработка системы управления процессом формирования пучков заряженных частиц в задачах ионно-плазменного напыления

• Автор: Царегородцев, Анатолий Валерьевич
• Шифр специальности: 05.13.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1999
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 160 с. : ил.

1.1. Характеристика предметной области

1.2. Обзор существующих работ.

1.3. Концепция построения алгоритмического обеспечения системы

управления процессом формирования пучков заряженных частиц.

1.4. Выводы по разделу.

ГЛАВА 2. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ПУЧКОВ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В ЗАДАЧАХ ИОННОПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ.

2.1. Уравнения динамики процесса формирования пучков заряженных частиц.

2.2. Моделирование процесса формирования пучков заряженных

частиц.

2.2.1. Определение распределения потенциала

2.2.2. Интегрирование уравнений движения заряженных частиц .

2.2.3. Расчет токов и объемных зарядов.
2.2.4. Определение конфигурации плазменной границы.
2.3. Распараллеливание алгоритмов моделирования.
2.4. Выводы по разделу
Стр.
ГЛАВА 3. АВТОМАТИЗАЦИЯ УПРАВЛЕ1ШЯ ПРОЦЕССАМИ ИОННОПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ.
3 Л. I остановка задачи управления.
3.2. Общие принципы оптимального управления пучками траекторий.
3.3. Синтез оптимального управления процессом формирования пучков заряженных частиц в задачах ионноплазменного напыления
3.3.1. Основные понятия и определения
3.3.2. Необходимые и достаточные условия оптимальности
3.3.3. Вычислительные алгоритмы оптимального управления пучками заряженных частиц.
3.4. Настройка параметров адаптивной модели
3.5. Выводы по разделу.
ГЛАВА 4. АНАЛИЗ РАБОТОСПОСОБНОСТИ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ.
4.1. Сопоставление результатов натурных испытаний и имитационного моделирования.
4.2. Оценка эффективности алгоритма управления.
4.3. Техникоэкономическое обоснование.
4.4. Выводы по разделу.
ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ
ЛИТЕРАТУРА


Расчет токов и объемных зарядов. Определение конфигурации плазменной границы. Распараллеливание алгоритмов моделирования. Выводы по разделу
Стр. ГЛАВА 3. АВТОМАТИЗАЦИЯ УПРАВЛЕ1ШЯ ПРОЦЕССАМИ ИОННОПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ. Л. I остановка задачи управления. Общие принципы оптимального управления пучками траекторий. Вычислительные алгоритмы оптимального управления пучками заряженных частиц. Выводы по разделу. ГЛАВА 4. АНАЛИЗ РАБОТОСПОСОБНОСТИ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ. Сопоставление результатов натурных испытаний и имитационного моделирования. Оценка эффективности алгоритма управления. Техникоэкономическое обоснование. Выводы по разделу. ЛИТЕРАТУРА. ПРИЛОЖЕНИЕ 28
и проблемы технических измерений Россия, Москва, Шестой международной студенческой школесеминар Новые информационные технологии Крым, Судак, Пятом международном совещаниисеминар Инженернофизические проблемы новой техники Россия, Москва, 3 iiii i, , , Пятой Всероссийской научнотехнической конференции Состояние и проблемы технических измерений Россия, Москва, , а также на научных семинарах МГТУ им. Н.Э. Баумана. По основным положениям диссертации опубликовано печатных работ. Структура СУ процессом ФПЗЧ, сочетающая имитационное моделирование с экспертными методами обработки знаний. Методика моделирования процесса ФПЗЧ, ориентированная на использование модели в контуре СУ. Методика синтеза оптимального управления процессом ФПЗЧ, позволяющая решать характерные задачи ИП. Методика настройки параметров модели управляемого процесса. ГЛАВА 1.