Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники
- Автор:
Терентьев, Сергей Александрович
- Шифр специальности:
05.09.10, 05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2002
- Место защиты:
Саратов
- Количество страниц:
162 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники», автор — Терентьев, Сергей Александрович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.09.10, 05.27.01. Работа подготовлена в городе Саратов в 2002 году. Объем работы: 162 с. : ил. Внутренний код товара: 01002292945. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Энергоэффективные технологии с применением индукционного нагрева в трубной промышленности | Андрушкевич, Владислав Витальевич | 2016 |
| Исследование и разработка индукционной системы выплавки тротила для конверсионных технологий | Обухова, Алла Васильевна | 2003 |
| Исследование закономерностей тепловых режимов дуговых сталеплавильных печей литейного класса | Петров, Владимир Геннадьевич | 2005 |