Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники
- Автор:
Терентьев, Сергей Александрович
- Шифр специальности:
05.09.10, 05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2002
- Место защиты:
Саратов
- Количество страниц:
162 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Влияние СВЧ электромагнитных колебаний на физико-химические свойства полимерного сепарационного материала из полисульфоновой смолы и применение СВЧ электротехнологической установки для обработки сепараторов химических источников тока | Гильманова, Виктория Александровна | 2000 |
| Электротехнология переработки техногенных отходов в плазменной печи с улучшенными энергетическими характеристиками | Домаров, Павел Вадимович | 2013 |
| Разработка рациональных энергетических параметров токоподвода, дуги и факела топливно-кислородных горелок в дуговых сталеплавильных печах | Чернышов, Дмитрий Вадимович | 2007 |