Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники
- Автор:
Терентьев, Сергей Александрович
- Шифр специальности:
05.09.10, 05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2002
- Место защиты:
Саратов
- Количество страниц:
162 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Обоснование и реализация комбинированной механической и физико-химической обработки титановых деталей в ультразвуковом поле с учетом электроплазменного напыления композиционных покрытий | Лясникова, Александра Владимировна | 2009 |
| Разработка эффективных режимов скоростного индукционного нагрева изделий с учетом термических напряжений | Лепешкин, Александр Роальдович | 2007 |
| Исследование процессов и параметров шахтных плазменных электропечей для переработки твердых бытовых отходов | Чередниченко, Лариса Евгеньевна | 1999 |