Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники
- Автор:
Терентьев, Сергей Александрович
- Шифр специальности:
05.09.10, 05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2002
- Место защиты:
Саратов
- Количество страниц:
162 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники», автор — Терентьев, Сергей Александрович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.09.10, 05.27.01. Работа подготовлена в городе Саратов в 2002 году. Объем работы: 162 с. : ил. Внутренний код товара: 01002292945. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Оптимальное управление температурными режимами индукционного нагрева цилиндрических слитков с учетом технологических ограничений | Коршиков, Степан Евгеньевич | 2015 |
| Разработка методик расчета, конструкции и режимов работы индукционно-резистивных нагревательных устройств со стержневыми индукторами | Дианов, Андрей Игоревич | 2006 |
| Разработка и исследование индукционных систем для ремонтно-восстановительных технологий роторов газотурбинных двигателей | Головачёв, Александр Леонидович | 2009 |