Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники
- Автор:
Терентьев, Сергей Александрович
- Шифр специальности:
05.09.10, 05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2002
- Место защиты:
Саратов
- Количество страниц:
162 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка системы управления дуговой печью постоянного тока | Нехамин, Илья Сергеевич | 2009 |
| Повышение энергоэффективности нестационарных режимов индукционных нагревателей методического действия | Мостовой, Алексей Павлович | 2015 |
| Рабочие камеры лучевого типа СВЧ электротехнологических установок для модификации диэлектриков | Гришина, Екатерина Михайловна | 2009 |