Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники
- Автор:
Суханов, Яков Николаевич
- Шифр специальности:
01.04.08, 01.04.04
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2005
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
114 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Развитие квазиклассической теории радиационных свойств низкотемпературной атомарной плазмы | Дьячков, Лев Гавриилович | 2001 |
| Физические процессы в разряде в азоте при средних давлениях | Тележко, Владислав Михайлович | 1984 |
| Низкочастотная неустойчивость слабоионизованной столкновительной токонесущей плазмы, обусловленная отрицательной диффузией | Ри Меонг Хи | 2002 |