Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники
- Автор:
Суханов, Яков Николаевич
- Шифр специальности:
01.04.08, 01.04.04
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2005
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
114 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники», автор — Суханов, Яков Николаевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 01.04.08, 01.04.04. Работа подготовлена в городе Москва в 2005 году. Объем работы: 114 с. : ил.. Внутренний код товара: 01002744803. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Влияние элементарных процессов с участием метастабильных частиц на характеристики плазмы тлеющего разряда | Раковец, Александр Александрович | 1985 |
| Послойный анализ водорода в конструкционных материалах на основе спектроскопии отраженных электронов | Батраков, Александр Алексеевич | 2011 |
| Исследование параметров плазмы по излучению в мягкой рентгеновской области при мощном электронном циклотронном нагреве на стеллараторе Л-2М | Вафин, Ильдар Юсуфович | 2013 |