Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники
- Автор:
Суханов, Яков Николаевич
- Шифр специальности:
01.04.08, 01.04.04
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2005
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
114 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники», автор — Суханов, Яков Николаевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 01.04.08, 01.04.04. Работа подготовлена в городе Москва в 2005 году. Объем работы: 114 с. : ил.. Внутренний код товара: 01002744803. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Внутренние релаксационные процессы и срывы в плазме токамака | Саврухин, Петр Всеволодович | 2001 |
| Формирование и анализ полоидальных магнитных полей в токамаке с ферромагнетиком на основе численного моделирования | Бондарчук, Эдуард Николаевич | 1984 |
| Генерация и диагностика квазистационарных электромагнитных полей в ионизованных средах | Мареев, Евгений Анатольевич | 1998 |