Исследование процессов синтеза и свойств многослойных рентгеновских зеркал

• Автор: Прохоров, Кирилл Александрович
• Шифр специальности: 01.04.07, 01.04.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2006
• Место защиты: Нижний Новгород
• Количество страниц: 159 с. : ил.

1.1. Основные проблемы методик и технологии изготовления тонких пленок и МРЗ

1.1.1. Влияние неровностей границ раздела слоев на параметры многослойных рентгеновских струюур

1.1.2. Влияние стабильности процессов изготовления МРЗ.

1 Выбор оптимальных пар элементов для изготовления МРЗ

1.1.4. Особенности роста сверхтонких пленок в многослойных наноструктурах.

1.1.5. Подложки для многослойной оптики рентгеновского диапазона длин волнЗО

1.2. Методы и оборудование для изготовления многослойных структур

1.2.1. Электронно лучевое испарение

1.2.2. Импульснолазерное напыление МРЗ

1.2.3. Изготовление структур методом магнетронного распыления

1.2.4. Установка магнетронного напыления МРЗ.

. Методы и аппаратура для исследования харасгеристик многослойных структур
.1. Основные проблемы методик и технологии исследования тонких пленок и МРЗ
.2. Малоугловая рентгеновская рефлектометрия в жестком рентгеновском диапазоне .
.3. Рефлектометрия в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазонах .
.4. Послойный элементный анализ МРЗ методом электронной Оже
спектроскопии
1.3.5. Применение методов электронной микроскопии для исследования МРЗ.
ГЛАВА 2 Исследование процессов синтеза и свойств короткопериодных многослойных рентгеновских зеркал
2.1. Основные технологические проблемы изготовления короткопериодных МРЗ
2.2. Методы оптимизации процессов изготовления короткопериодных МРЗ
2.3. Специфика исследования отражательных характеристик короткопериодных рентгеновских зеркал.
2.4. Изготовление и исследование короткопериодных структур i, Со, i, М0В4С и Мо, СгС
2.5. Изготовление короткопериодных МРЗ на основе и исследование их отражательных характеристик
2.6. Исследование процессов синтеза и характеристик короткопериодных зеркал на основе 4 в
2.6.1. Изготовление короткопериодных МРЗ IV4 с помощью различных источников тока

2.6.2. Анализ параметров коротконериодных МРЗ методом малоуглового рассеяния рентгеновского излучения.
2.6.3. Сравнение характеристик короткопериодных структур 4 с кристаллами
2.7. Основные выводы и результаты
ГЛАВА 3 Оптимизация процессов синтеза многослойных i зеркал для проекционной литографии в области .5 нм
3.1. Влияние условий осаждения материалов на свойства и структуру многослойных зеркал
3.2. Влияние толщины молибденовых слоев на микроструктуру многослойных зеркал.м.
. Влияние температуры подложки на свойства зеркал i
3.4. Основные выводы и результаты
ГЛАВА 4 Изготовление и исследование многослойных структур для рентгенофлуоресцентного анализа, рентгеновской томографии и ядерной фильтрации СИ
4.1. Оптимизация многослойных дисперсионных элементов на основе В4Сяпя рентгенофлуоресцентного анализа в спектральной области А 6.7 8 нм .
4.2. Изготовление н оптимизация многослойных структур для спектрально селективной рентгеновской томографии
4.3. Изготовление и исследование многослойных структур для ядерной фильтрации
СИНХрОТрОННОГО ИЗЛучеНИЯ м 1X X
4.3.1. Управление шириной кривой отражения многослойных фильтров у излучения на основе пары элементов i.x путем изменения магнитного
расщепления.
.2. Структуры для ядерной резонансной фильтрации СИ с антиотражающими пленками скользящего падения
.2.1. Изготовление ядерных зеркал на основе изотопов 1 Та и 9Тт с антиотражающими покрытиями
.2.2. Изготовление и исследование многослойных ядерных зеркал на основе
пары элементов i.x с антиотражающим покрытием.
Определение профиля электронной плотности с помощью синхротронного излучения с резонансной длиной волны.
4.4. Основные выводы и результаты.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
Список цитируемой литературы


Неоднократно результаты докладывались автором на устных пленарных и тематических заседаниях научных конференций. В исследованиях, вошедших в диссертацию, автором выполнялись следующие работы участие в постановке научных задач, изготовление и исследование образцов, анализ и обобщение полученных результатов. В работах по оптимизации процессов синтеза короткопериодных структур на основе титана А5, А, на основе пары элементов 4 А, А, А, зеркал на основе пары элементов А вклад автора диссертации является определяющим. Работы по синтезу структур проводились совместно с С. С. Андреевым. В работах по исследованию процессов синтеза МРЗ на основе пары элементов i А , А, А, А автор принимал участие в изготовлении структур, проведении измерений, анализе полученных результатов и разработке оптимальных параметров процессов синтеза. Научный руководитель диссертации Салащенко, С. А. Гусев и С. Ю. Зуев принимали участие в постановке задачи и проведении исследований. В работах по синтезу ядерных фильтров синхротронного излучения 3, А, , А, А автору диссертации принадлежит проведение модельных расчетов совместно с В. Г. Семеновым и М. А. Андреевой, синтез многослойных зеркал, их исследование методом малоугловой рентгеновской дифракции и обсуждение полученных результатов. В работах по оптимизации процессов синтеза МРЗ для задач спектральноселективной рентгеновской томографии высокотемпературной плазмы А и . МРЗ для изготовления фазовращателей и поляризаторов рентгеновского излучения А, А, А автор принимал участие в изготовлении структур, проведении измерений и анализе полученных результатов.