Методы и экспериментальные установки формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов видимого и инфракрасного диапазонов волн

• Автор: Волков, Алексей Васильевич
• Шифр специальности: 01.04.01, 01.04.05
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2002
• Место защиты: Самара
• Количество страниц: 250 с. : ил

ОГЛАВЛЕНИЕ
СПИСОК С0КРАЩЕИЙ. ВВЕДЕНИЕ. Фазовая функция оптического элемента и реализующий ее дифракционный микрорельеф. Основные технологические процессы, применяемые при формировании микрорельефа ДОЭ. Литография. Качественный анализ погрешностей фотолнто1рафического процесса. Влияние технологических погрешностей на параметры дифракционной линзы. Моделирование влияния смешения шаблонов на параметры дифракционной линзы. Влияние технологических погрешностей на величину среднеквадратичной ошибки формирования интенсивности
2. Изготовление фотошаблоно ДОЭ. Изг отовление микрорельефа фокусаторов. Экспериментальное исследование фокусаторов. Исследования режимов травления материалов, используемых в качестве маскирующих слоев. Формирование микрорельефа ДОЭ методом послойною наращивания фоторезиста. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ ФОРМИРОВАНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА В МАТЕРИАЛАХ. Создание и исследование опытных образцов дифракционных оптических элементов для фокусировки лазерного излучения на кварцевых подложках

В рамках выполнения работ с Исследовательским центром ФИАТ i I1, г.

Института систем обработки изображений РАН и Физикогехнологического института РАН ФТИЛН Пятый Международный семинар но цифровой обработке изображений и компьютерной графике Обработка изображений и компьютерная оптика г. Самара. Первая Поволжская региональная конференция Научноисследовательские разработки и высокие технологии двойного применения г. Самара, г. Международная конференция i i I i Москва, г. У1ая Всероссийская конференция Структура и динамика молекулярных систем Казань. Международная конференция ЮАИ0. Самара Международная конференция Надежность и качество в промышленности, энергетике и на транспорте, Самара. Ii i i i ii Ii i , , , , viv, i ая межвузовская конференция, Самара, май, г. Всероссийская конференция Лазеры. Измерения. Информация, СанктПетербург, г. Между
народная научнопрактическая конференция Теория, методы и средства измерений, контроля и диагностики, г. Новочеркасск, г. Международная конференция Математическое моделирование, ММ, Самара Всероссийская НТК Микро и наноэлекгроника и . Звенигород, и г. Разработанные и изготовленные образцы ДОЗ демонстрировались на 9ой Международной выставке Оптика на службе человека, г. Москва, г. Международной выставке Наука. Научные приборы , г. Москва, г. Выставке высоких технологий Самарской области в г. Чженгжоу, Китай, г. Часть разработок находится в постоянно действующем выставочном зале СГАУ. Публикации. По результатам выполненных исследований лично и в соавторстве опубликованы научная статья и 2 монографии. Получено авторских свидетельств и патентов РФ на изобретения.