Разработка математического обеспечения автоматизированного проектирования технологических процессов изготовления пассивных элементов гибридных интегральных схем

• Автор: Лавренюк, Сергей Юрьевич
• Шифр специальности: 05.13.12, 05.12.18
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1983
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 202 c. : ил

1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ И ПРЕДПОСЫЛКИ СОЗДАНИЯ САПР ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ НАПЫЛЕНИЯ ПАССИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
1.1. Краткая характеристика технологического процесса напыления
1.2. Основные задачи САПР технологических процессов напыления
1.3. Анализ математических методов решения задач проектирования технологического процесса напыления
1.4. Постановка задачи исследования
2. МЕТОДИКА РАЗРАБОТКИ МАТЕМАТИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ НАПЫЛЕНИЯ
2.1. Исследование задач проектирования
2.2. Методика построения математических моделей процесса напыления для автоматизированного проектирования
2.2.1. Последовательность этапов анализа технологического процесса напыления
2.2.2. Эмпирический метод получения критериев подобия

2.2.3. Метод исследования моделей,
представленных многомерными уравнениями теплопроводности
2.3. Метод решения задач параметрического синтеза при автоматизированном проектировании технологических процессов напыления
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ
3. РАЗРАБОТКА МАТЕМАТИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ИСПАРЕНИЯ ПРИ НАПЫЛЕНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
3.1. Математическая модель процесса испарения
3.2. Разработка математических методов решения задач синтеза при проектировании процесса испарения
3.3. Проверка и программная реализация разработанных моделей и методов
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ
4. РАЗРАБОТКА МАТЕМАТИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА МАССОПЕРЕНОСА ПРИ НАПЫЛЕНИИ
ТОНКИХ ПЛЕНОК
4.1. Математическая модель процесса массо-переноса
4.2. Методы расчета геометрии подколпачно-го оборудования при проектировании
процесса массопереноса
4.3. Проверка и использование разработанных моделей и методов
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

5. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ТЕПЛОВЫХ РЕЖИМОВ КОНДЕНСАЦИИ ПРИ НАПЫЛЕНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
5.1. Математическая модель тепловых режимов конденсации
5.2. Программная реализация и использование модели для проектирования тепловых режимов конденсации
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
ПРИЛОЖЕНИЕ

Тем не менее, рассматриваемые процессы нагрева подложек на разных установках, разных подложнодержателях и разных режимах нагрева описываются одинаковыми уравнениями и близки к подобным. Для построения безразмерного описания рассматриваемых процессов был разработан эмпирический метод, позволяющий на основе системного анализа получать критерии подобия, и на их основе -безразмерные уравнения, описывающих процесс с некоторой погрешностью. Этот метод может быть также полезен при описании других процессов, имеющих вид монотонного переходного процесса (типа показанного на рис. 2.3), и имеющих общую физическую природу.
Основополагающими момента!® использования этого метода для построения математической модели процесса в виде безразмерного уравнения при одной входной переменной являются следующими:
1. Модель создается на основе обработки в безразмерном виде экспериментальных данных, полученных для:некоторых из установок.
2. Все экспериментальные кривые, построенные для разных обследованных установок подобными преобразованиями сводятся к одной кривой. Это делается за счет сжатия кривых вдоль каждой из кяординат. Коэффициенты сжатия вдоль осей подбираются для каждой из кривых так, чтобы получившиеся кривые совпадали друг с другом ( в пределах допустимой погрешности, установленной на этапе постановки задачи моделирования). Если такие коэффициенты подобрать не удастся:, то это значит, что для данного процесса невозможно применить этот метод.
3. Получившаяся общая для всех установок и режимов кривая описывается уравнением регрессии.
4. Для данного режима и данной установки экспериментально определяются значения коэффициентов сжатия.
5. Полученные формулы преобразуются к виду, удобному для