Обоснование и разработка прецизионного способа двухстороннего шлифования свободным абразивом пластин кремния большого диаметра

• Автор: Яковлев, Сергей Петрович
• Шифр специальности: 05.27.06
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2001
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 170 с.

ОГЛАВЛЕНИЕ

ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ТЕХНОЛОГИИ
МЕХАНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ БОЛЬШОГО ДИАМЕТРА СВОБОДНЫМ И СВЯЗАННЫМ АБРАЗИВОМ
1.1. Основы механической обработки пластин кремния
1.2. Структура и глубина повреждений в приповерхностных слоях пластин кремния при шлифовании
1.3. Новые тенденции в технологии обработки пластин кремния
1.4. Постановка задач исследований
ГЛАВА 2. АНАЛИЗ ПРЯМЫХ И КОСВЕННЫХ МЕТОДОВ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ ПОВРЕЖДЕНИЙ В ПЛАСТИНАХ КРЕМНИЯ И МЕТОДОВ ИХ ВИЗУАЛИЗАЦИИ
2.1. Двухкристальная рентгеновская дифрактометрия
2.2. Определение радиуса кривизны деформированных пластин кремния рентгеновским методом
2.3. Секционная рентгеновская топография пластин
кремния
2.4. Методика определения приповерхностных повреждений методом «косого шлифа»
2.5. Применение окислительного теста для характеризации вторичных дефектов - окислительных дефектов упаковки (ОДУ)
2.6. Выводы
ГЛАВА

3.7. ГЛАВА

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПО ОПРЕДЕЛЕНИЮ СТРУКТУРЫ И ГЛУБИНЫ ПОВРЕЖДЕНИЙ В ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЯХ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ДВУХСТОРОННЕГО ШЛИФОВАНИЯ (ДСШ) СВОБОДНЫМ
АБРАЗИВОМ
Применение сканирующей электронной микроскопии для
определения формы зерна применяемого абразива
Определение глубины и структуры повреждений прямыми
неразрушающими методами
Определение глубины и структуры повреждений прямыми
разрушающими методами
Применение косвенных методов для характеризации различий в структуре приповерхностных повреждений после ДСШ свободным абразивом с различной формой и размером зерна и для разделения влияния дефектов после
двухстадийного ХМП
Моделирование формирования нарушений в пластинах кремния при ДСШ свободным абразивом с различным
размером и формой абразивных частиц
Обоснование предлагаемого прецизионного способа двухстороннего шлифования пластин кремния свободным
абразивом
Выводы
ПРАКТИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ
РАБОТЫ
Разработка технологии прецизионного двухстороннего шлифования свободным абразивом

4.1.1. Разработка технологии приготовления шлифовальной суспензии на основе мелкого абразива с плоской гексагональной формой зерна с использованием вязкого суспензионного носителя
4.1.2. Технология двухстороннего шлифования пластин кремния 0150мм суспензией на основе мелкого абразива с применением вязкого суспензионного носителя
4.2. Практическое использование результатов работы
ОБЩИЕ ВБ1ВОДЫ ПО РАБОТЕ
ЛИТЕРАТУРА
ПРИЛОЖЕНИЯ
153 - 157

Параметры эффективности многопроволочной резки определяются оптимизацией факторов, влияющих на процесс многопроволочной резки (рис. 8). К ним относят: натяжение проволоки Т, скорость перемещения проволоки И, скорость подачи слитка V и размер зерна Б. Эти факторы, согласно формуле на рис. 8 должны быть подобраны таким образом, чтобы вертикальное смещение проволоки 8У и её горизонтальный уход 8Х под действием составляющих сил сопротивления резанию были равны и минимальны. В этом случае глубина нарушений будет однородна.
Важную роль в процессе многопроволочной резки играет оптимизация не только самих факторов резки, но и состава суспензии [31]. Так, разбавление основного абразива вС 600 более мелким абразивом ИС 2000 в соотношении 3:7 при общем содержании твёрдой фазы в суспензии 50вес.% увеличивает скорость резания от 50 до 85мкм/мин., снижает ширину реза от 330 до 280мкм, а поверхностную шероховатость Яа от 1,2мкм до 0,7мкм.
Из таблицы 5 ясно видно, что для проволочной резки характерна большая производительность и выход из-за меньших потерь на пропил и меньшие приповерхностные повреждения.
Важным, если не решающим параметром, определяющим качество многопроволочной резки, является качество используемой проволоки. По мнению автора [36], эта проволока должна производиться из высокоуглеродистой (1вес.%С) холоднокатаной стали с предельной прочностью на растяжение более 4000Н/мм2. На фирме-производителе проволоки “Векаеіі;” (Бельгия) рассматривается возможность уменьшения диаметра проволоки от 180мкм до ЮОмкм при сохранении величины предельной прочности на растяжение, что позволит увеличить число отрезаемых пластин в 1,2 раза на единицу длины слитка за счёт снижения толёщины реза. Типичные потери на пропил при многопроволочной резке слагаются из диаметра проволоки, размера зерна абразива и величины вибрации проволоки.