Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии
- Автор:
Фадеев, Алексей Владимирович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2014
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
172 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка магнитоэлектрических датчиков магнитного поля и СВЧ мощности на основе композиционных материалов | Килиба, Юрий Владимирович | 2003 |
| Исследование и разработка методов и средств проектирования микросистем высокой надежности | Блохина, Вероника Борисовна | 2001 |
| Исследование и создание гибридно-монолитных СВЧ - генераторов и преобразователей частоты на универсальных активных GaAs МИС в диапазоне частот 1...18 ГГЦ | Богданов, Юрий Михайлович | 2007 |