Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии
- Автор:
Фадеев, Алексей Владимирович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2014
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
172 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов | Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич | 1997 |
| Разработка технологии изготовления и исследование сенсорных элементов на основе анодных оксидных пленок меди | Светличная, Людмила Александровна | 2008 |
| Прогнозирование деградации электрических параметров полупроводниковых изделий | Арсентьев, Алексей Владимирович | 2012 |