Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии
- Автор:
Фадеев, Алексей Владимирович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2014
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
172 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии», автор — Фадеев, Алексей Владимирович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 2014 году. Объем работы: 172 с. : ил.. Внутренний код товара: 01007877409. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС | Рыбачек, Елена Николаевна | 1998 |
| Электронный транспорт в составных квантовых ямах InAlAs/InGaAs/InAlAs, содержащих наноразмерные вставки InAs | Пономарев, Дмитрий Сергеевич | 2012 |
| Конструкторско-технологические принципы проектирования и изготовления радиоэлектронных компонентов из сверхпроводящих иттрий-бариевых купратов | Фирсов, Николай Илларионович | 2004 |