Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии
- Автор:
Фадеев, Алексей Владимирович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2014
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
172 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Брэгговская дифракция рентгеновского излучения на кристаллах, промодулированных поверхностными акустическими волнами | Иржак, Дмитрий Вадимович | 2002 |
| Полупроводниковые лазерные гетеронаноструктуры с вытекающей модой, волноведущими квантовыми ямами и смешиванием мод резонатора | Дикарева, Наталья Васильевна | 2017 |
| Численное моделирование кремниевых многослойных структур и разработка пакета программ для проектирования диодов и тиристоров | Ростовцев, Игорь Львович | 1989 |