Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники
- Автор:
Савкин, Алексей Владимирович
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2002
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
141 с.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки | Варзарев, Юрий Николаевич | 1998 |
| Исследование и модификация наноструктур с использованием токовых режимов зондовой микроскопии и литографии | Сагунова, Ирина Владимировна | 2010 |
| Исследование и разработка тонкопленочных гетерогенных структур чувствительных элементов датчиков давлений с экстремальными условиями эксплуатации | Гурин, Сергей Александрович | 2016 |