Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники

• Автор: Савкин, Алексей Владимирович
• Шифр специальности: 05.27.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2002
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 141 с.

СОДЕРЖАНИЕ.
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ИССЛЕДОВАНИЙ В ОБЛАСТИ ГАЗОВЫХ РАЗРЯДОВ ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ.
1.1 Направления развития микроэлектроники на современном этапе. Обработка в низкотемпературной плазме атмосферного давления - перспективный метод в технологии производства ИС.
Г1.1 Роль физических и химических факторов в процессах плазменной очистки технологических сред от микробиологического загрязнения.

1.2 Виды газового разряда при повышенном (атмосферном) давлении.

1.3 Постановка задачи.

ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА ЭЛЕКТРОДНОГО УСТРОЙСТВА ДЛЯ ГЕНЕРАЦИИ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ И ИССЛЕДОВАНИЕ ЕЁ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК.

2.1 Выбор метода генерации низкотемпературной плазмы

2.1.1 Импульсный метод генерации низкотемпературной плазмы.

2.2. Разработка конструкции высоковольтной электродной системы для импульсной генерации низкотемпературной плазмы в режиме искрового пробоя.
2.2.1. Формирование высоковольтных импульсов напряжения наносекундного диапазона
2.3. Методика и аппаратура для исследования электрических параметров импульсного искрового разряда.
2.3.1. Метод измерения высокого напряжения и регистрации формы импульсов наносекундного диапазона.
2.3.2. Измерение и регистрация формы тока высоковольтных импульсов напряжения наносекундного диапазона.
2.4. Исследование электрофизических параметров электродной системы «плоскость - матрица игл» в режиме ИР в зависимости от межэлектродного расстояния и частоты следования высоковольтных импульсов, а также в условиях облучения электродной системы и межэлектродного расстояния УФ излучением.
2.5. Выводы.
ГЛАВА 3. МЕХАНИЗМ И КИНЕТИКА ОБРАЗОВАНИЯ АКТИВНЫХ ВЕЩЕСТВ В ИМПУЛЬСНОМ ИСКРОВОМ РАЗРЯДЕ НАНОСЕКУНДНОГО ДИАПАЗОНА.
3.1 Механизм образования химически активных частиц в воздушной плазме импульсного искрового ГР.
3.2 Методика измерения состава газовой смеси оптическим методом.
3.3. Исследование влияния параметров плазменной системы на состав газовой среды в рабочей камере.
3.4. Выводы.
ГЛАВА 4. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ ИМПУЛЬСНОГО ИСКРОВОГО РАЗРЯДА ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ ДЛЯ ОЧИСТКИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ВОЗДУШНЫХ СРЕД ОТ МИКРОБИОЛОГИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ.
4.1. Проблемы и перспективы создания метода низкотемпературной плазменной очистки от микробиологических объектов.
4.2. Экспериментальное исследование возможности низкотемпературной плазменной очистки от микробиологических объектов в воздухе атмосферного давления.

4.2.1 Методика проведения микробиологических
исследований.
4.2.2. Результаты исследований эффективности низкотемпературной плазменной очистки от
микробиологических объектов.
4.3. Выводы.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА

трековые мембраны имеют большие перспективы использования в системах фильтрации технологических и рабочих сред в микроэлектронике [82]
ПРОБНЫЙ ФИЛЬТР ,
ВАКУУМНЫЙ . НАСОС , |Т|

ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ
КЛАПАН
К ВЫХОДНОЙ СИСТЕМЕ ЗДАНИЯ
КОНТРОЛЬНАЯ СЕКЦИЯ
ФИЛЬТР^
ВВЕДЕНИЕ БИОЛОГИЧЕСКОГО ОТРАВЛЯЮЩЕГО ВЕШЕС1ВА (ИЗВЕСТНОЕ КОЛИЧЕСТВО)

■ЯЯсШфХЪ?
ДАТЧИК

/АКТИВНАЯ СЕКЦИЯ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ ВЧ ИЛИ ПОЛЛОКА
ПЛАЗМА
ВОЗДУ* +С

«СРЙМЛ» КЛАПАН А
высоко-s vN3WEKTHBH»I .вші'лній'ттр
ЛМНЕРАКЧ
СБОРКА УВЛААНИТ ЕЛЯ
ПРИТОЧНЫЙ
ПАТРЧБОК
Рис. 1.5. Стенд для тестирования и система фильтрации воздуха “УоШкег©”, с его последующей очисткой от микробиологических объектов [81].
Образцы из полипропилена были посеяны клетками Е. coli и S. aureus в

количестве от 5-10 до 5-10 и обработаны плазмой ТР при рабочих параметрах генерации 4,5-5,5 кВ и 5,0-7,0 кГц. Время воздействия составляло 0, 5, 15, 30, 60 сек и т.д. Клетки, посеянные на обработанных плазмой полипропиленовых образцах и необработанных контрольных образцах были удалены путем промывки в осмотически стабильном соляном растворе (14 мг NaH2P04, 36 мг Na4HP04, 0,05% Triton-ХЮО) в течение 5 мин. Клетки были последовательно растворены и