+
Действующая цена700 499 руб.
Товаров:
На сумму:

Электронная библиотека диссертаций

Доставка любой диссертации в формате PDF и WORD за 499 руб. на e-mail - 20 мин. 800 000 наименований диссертаций и авторефератов. Все авторефераты диссертаций - БЕСПЛАТНО

Расширенный поиск

Разработка методов и методик проектирования многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений

Разработка методов и методик проектирования многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений
  • Автор:

    Шерова, Елена Викторовна

  • Шифр специальности:

    05.27.01

  • Научная степень:

    Кандидатская

  • Год защиты:

    2010

  • Место защиты:

    Таганрог

  • Количество страниц:

    245 с. : ил.

  • Стоимость:

    700 р.

    499 руб.

до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
"
1. МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ 
1.1.1. Технология объемной микрообработки



СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ

1. МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ


1.1. Анализ принципов построения и особенностей технологической реализации микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений

1.1.1. Технология объемной микрообработки

1.1.2. Технология поверхностной микрообработки

1.1.3. Смешенная объемно-поверхностная микрообработка

1.1.4. ЬЮА-технология

1.1.5. МиМРэ-технология

1.2. Обзор микромеханических сенсоров линейных ускорений


1.2.1. Осевые сенсоры линейных ускорений
1.2.2, Маятниковые сенсоры линейных ускорений
1.3. Обзор микромеханических сенсоров угловых скоростей
1.3.1. Сенсоры угловых скоростей ЬЬ-типа
1.3.2. Сенсоры угловых скоростей ЬЯ-типа
1.3.3. Сенсоры угловых скоростей ЯЯ-типа
1.3.4. Камертонные и волновые сенсоры угловых скоростей
1.4. Выводы
1.5. Постановка задач диссертационной работы
2. РАЗРАБОТКА МЕТОДА И МЕТОДИКИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ДВУХОСЕВЫХ СЕНСОРОВ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ
УСКОРЕНИЙ С ОДНОЙ ИНЕРЦИОННОЙ МАССОЙ
2.1. Разработка конструкции двухосевого микромеханического
сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой

2.2. Моделирование двухосевого микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой
2.3. Метод и методика проектирования двухосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой
2.4. Выводы
3. РАЗРАБОТКА МЕТОДА И МЕТОДИКИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ
ДВУХОСЕВЫХ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СЕНСОРОВ УГЛОВЫХ
СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ С ОДНОЙ ИНЕРЦИОННОЙ МАССОЙ И ПРОМЕЖУТОЧНОЙ РАМКОЙ
3.1. Разработка конструкции двухосевого микромеханических сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой и промежуточной рамкой
3.2. Моделирование двухосевого микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой и промежуточной рамкой
3.3. Метод и методика проектирования двухосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой и промежуточной рамкой
3.4. Выводы
4. РАЗРАБОТКА МЕТОДА И МЕТОДИКИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ
ТРЕХОСЕВЫХ СЕНСОРОВ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ
УСКОРЕНИЙ С ДВУМЯ ИНЕРЦИОННЫМИ МАССАМИ
4.1. Разработка конструкции трехосевого микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с двумя инерционными массами
4.2. Моделирование трехосевого микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с двумя инерционными
массами
4.3. Метод и методика проектирования трехосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с двумя инерционными массами
4.4. Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
ПРИЛОЖЕНИЕ 1.Технологические маршруты изготовления микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных
ускорений
ПРИЛОЖЕНИЕ 2.Документы о внедрении и использовании
результатов диссертационной работы

основанием 5 (показано условно). Элементы 2 обеспечивают целостность и жесткость в местах сопряжения упругих элементов. Привод какой-либо физической природы (электростатический, электромагнитный и т.д. - на рисунке не показан) функционально входит в состав ЧЭ [17, 60-64].
Принципиальная схема одноосевого ЧЭ сенсора угловых скоростей
1 - ИМ; 2 - жесткий элемент; 3,4 - упругие элементы подвеса; 5 - основание
Рис. 1.
В общем случае привод развивает силу F0 • sin pt (F0, p -соответственно амплитуда силы и частота ее генерации), которая направлена под некоторым малым углом s (sin в ~ в, cos в ~ 1, t - время) к оси X и сообщает ИМ колебания х = Xosinpt (хо — амплитуда колебаний). Мгновенный вектор линейной скорости инерционной массы в РД имеет проекции на оси X и Y [17]:
vx «v-cosf« v; vy « -v • sins « -v• s. (1.5)
При появлении переносной угловой скорости Qz, мгновенный вектор которой направлен в положительном направлении оси Z, возникает ускорение Кориолиса вдоль осей X и Y [17]:
ак =2 Qz-v-s, ак =2 QZ ■ v, (1.6)

Рекомендуемые диссертации данного раздела

Время генерации: 0.124, запросов: 967