Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники

• Автор: Лобачев, Юрий Анатольевич
• Шифр специальности: 05.17.02
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2002
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 132 с. : ил

Содержание.

Введение
Литературный обзор. Состояние проблемы получения арсина и фосфина, аналитического контроля гидридных газов и их очистки от примесей

• Теплофизические свойства гидридных газов

• Химические свойства гидридных газов

• Общие методы получения гидридных газов

• Методы получения фосфина

• Методы получения арсина

• Свойства арсенида и фосфида металлов и методы их получения

• Методы аналитического контроля арсина, фосфина и газовых

смесей на их основе
• Состав серийно выпускаемых, гидридных газов и требования,
предъявляемые к их чистоте
• Способы очистки газов от кислорода и паров воды (адсорбционные, диффузионные, ректификационные, химические)
Глава 1. Выбор оптимального направления разработки экологически
безопасных методов получения арсина и фосфина
Глава 2. Описание макета микрогенератора (МГ) арсина и фосфина
Глава 3. Разработка математической модели получения гидридных газов с
помощью МГ
Глава 4. Лабораторные испытания и исследования опытного образца МГ
арсина
4.1. Определение работоспособности опытного образца МГ А
4.2. Исследования оптимальных технологических параметров МГА
4.3. Результаты укрупненных лабораторных испытаний МГ
4.4. Усовершенствование конструкции опытного образца МГ
арсина по результатам испытаний
4.5. Анализ арсенида магния и определение концентрации арсина
в газовой смеси и воздухе рабочих помещений
Глава 5. Промышленные испытания МГ арсина ( подбор технологических
режимов работы МГА)
Глава 6. Лабораторные испытания опытного образца МГ фосфина и
исследования влияния параметров МГ фосфина на улучшение состава фосфинсодержащих газовых смесей
6.1. Цель испытаний
6.2. Составление технических требований к опытным образцам МГ фосфина
6.3. Программа и методика испытаний МГФ
6.4. Результаты испытаний МГФ
6.5. Усовершенствование конструкции МГФ по результатам проведенных испытаний
6.6. Анализ фосфина и примесей в газовых смесях
6.7. Разработка научно-технической документации на опытный образец МГФ
Глава 7. Исследование возможности создания МГ моносилана
и дисилана
Глава 8. Разработка технологии очистки гидридных газов
8.1. Разработка устройства финишной очистки газов (УФОГ)
со сплавом “ Галама”
8.2. Испытания УФОГ на предприятиях и исследования степени очистки газов
8.3. Очистка газов с помощью газового очистителя
8.4. Создание стенда проверки сорбционных колонок поглотительного устройства
Глава 9. Разработка технологии синтеза арсенида и фосфида магния
9.1. Исследование условий проведения синтеза арсенида магния
9.2. Синтез фосфида магния
Глава 10. Разработка технологии переработки фосфор- и мышьяксодержащих отходов
10.1. Исследование метода переработки фосфорсодержащих
отходов
10.2. Исследование метода переработки мышьяксодержащих
отходов
Выводы
Библиография
Приложения
Эффективность разделения компонентов с помощью данной реакции определяется коэффициентом разделения
р = Х*/1-Х*/Х/1-Х,

где: X* - мольная доля примеси. (3 в продуктах реакции, X - мольная доля примеси (3 в равновесной с продуктами реакции газовой смеси. Чем больше отличается коэффициент (3 от 1, тем выше эффективность разделения. Для процессов глубокой очистки, когда X « 1 и X* « 1, соотношение (2.27) упрощается:
Для приведенных выше реакций коэффициент разделения может быть выражен через константы К! и К2:
Необходимым условием для достижения высокой эффективности разделения газовых смесей является правильный подбор реагентов очистки. Как показали данные многочисленных экспериментальных работ, для глубокой очистки газов широкое применение находят геттеры-металлы, их окислы и сплавы. К преимуществам очистки на геттерах следует отнести высокую степень достигаемой чистоты; как правило, концентрация примесных компонентов после прохождения через геттеры снижается на несколько порядков; геттеры обладают высокой селективностью по отношению к взаимодействию с основными компонентами и микропримесями газовой смеси.
Для очистки газа геттер-металл может быть использован в жидком, твердом или газообразном состоянии. Так, например, аргон, очищенный от
(3 =Х*/Х,

р = К2 / К! = [В]*[АС] / ([А]*[ВС]),