Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники
- Автор:
Лобачев, Юрий Анатольевич
- Шифр специальности:
05.17.02
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2002
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
132 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники», автор — Лобачев, Юрий Анатольевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.17.02. Работа подготовлена в городе Москва в 2002 году. Объем работы: 132 с. : ил. Внутренний код товара: 01002292730. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Экспериментальное обоснование процесса восстановления облученного оксидного уранового топлива металлическим литием в расплаве хлористого лития | Ишунин, Владимир Станиславович | 2010 |
| Детритизация воды методом химического изотопного обмена водорода с водой в контактных устройствах мембранного типа | Прокунин, Сергей Викторович | 2010 |
| Получение оксидов урана и смешанных оксидов урана и церия методом восстановительной плазмохимической денитрации, их состав и свойства | Гильбо, Константин Евгеньевич | 2001 |