Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники
- Автор:
Лобачев, Юрий Анатольевич
- Шифр специальности:
05.17.02
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2002
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
132 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники», автор — Лобачев, Юрий Анатольевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.17.02. Работа подготовлена в городе Москва в 2002 году. Объем работы: 132 с. : ил. Внутренний код товара: 01002292730. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Оптимизация процесса детритизации газов с относительной влажностью меньше 100% методом фазового изотопного обмена | Букин, Алексей Николаевич | 2014 |
| Технология получения гафнийсодержащих оксидных систем для поглощающих стержней управления и защиты | Алёшин, Данил Константинович | 2011 |
| Синтез гидроксиапатита и формирование биоактивных покрытий из композиционных материалов на его основе и сверхвысокомолекулярного полиэтилена на титане | Леонова, Лилия Александровна | 2010 |