Информационно-измерительная система для измерения пониженных давлений

• Автор: Солодимов, Иван Александрович
• Шифр специальности: 05.11.16
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2010
• Место защиты: Пенза
• Количество страниц: 154 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Г лава 1. Анализ современного состояния и тенденций развития вакуумметрического приборостроения
1.1 Вакуум как объект исследования с позиций измерительной техники
1.2 Обобщенная характеристика методов и принципов
измерения пониженного давления
1.3 Анализ тенденций развития современного
вакуумметрического приборостроения
1.4 Анализ состояния отечественного вакуумметрического
приборостроения и постановка задачи исследования
Основные результаты и выводы по главе
Глава 2. Разработка принципов построения информационноизмерительных систем для измерения пониженных давлений
2.1 Анализ требований к проектированию информационноизмерительных систем для измерения пониженного давления
2.2 Разработка обобщенной структурной схемы
интеллектуального датчика вакуума
2.3 Особенности организации функционирования
интеллектуального датчика вакуума
2.4 Разработка обобщенной структуры электронного блока вакуумметра и алгоритма его работы
2.5 Разработка информационно-измерительной системы для измерения параметров процесса откачки вакуумных
коммутирующих устройств
Основные результаты и выводы по главе

Глава 3. Разработка и исследование интеллектуальных
датчиков низкого и среднего вакуума
3.1 Анализ физико-химических процессов, протекающих в датчиках низкого и среднего вакуума
3.2 Разработка и исследование терморезистивных датчиков
вакуума
3.3 Разработка и исследование термопарных датчиков вакуума
Основные результаты и выводы по главе
Глава 4. Разработка и исследование интеллектуальных
датчиков высокого вакуума
4.1 Особенности контроля давления при высоком вакууме
4.2 Разработка и исследование высоковольтных источников напряжения
4.3 Способы построения измерителей токов для датчиков
высокого вакуума
4.4 Способы расширения диапазона преобразования
абсолютного давления
Основные результаты и выводы по главе
Заключение. Основные результаты и выводы по работе
Перечень принятых сокращений
Список используемых источников
Приложение
Введение
Быстрое развитие наукоемких отраслей промышленности, формирование новых направлений научных исследований требуют разработки новых и совершенствования существующих средств измерений (СИ). Заметную долю в общем объеме измерительных операций составляют измерения давлений ниже атмосферного (далее - пониженных давлений). Такие измерения необходимо проводить при контроле технологических процессов изготовления изделий электронной техники, при выращивании сверхчистых веществ и полупроводниковых материалов в химии, при разработке вакуумных коммутирующих устройств в электротехнике, при проведении управляемых термоядерных реакций в физике, при испытаниях космических аппаратов в условиях земной атмосферы и т. п. Точность задания и поддержания требуемых параметров вакуумной среды зачастую определяет не только качество получаемой продукции, но и принципиальную возможность осуществления технологического процесса.
Большой вклад в решение проблемы контроля параметров вакуумной среды внесли Гуляев М. А., ЕрюхинА. В., Розанов Л. Н. и их ученики [9, 16, 23, 52]. В теории и практике построения датчиков физических величин, вторичных преобразователей и методов обработки электрических сигналов широкую известность получили работы научных коллективов, возглавляемых Гутниковым В. С. [17], Мартяшиным А. И. [35, 36], Шлян-диным В. М. [80], Шаховым Э. К. [77], Ломтевым Е. А. [20], Светловым А. В. [36], Мокровым Е. А. [37] и рядом других.
К числу основных тенденций развития вакуумной техники следует отнести переход к все более полной автоматизации вакуумнотехнологических процессов. В настоящее время промышленность заинте-

Таблица 4 - Метрологические характеристики ионизационных вакуумметров
Тип вакуумметра Тип преобразователя Диапазон измерений, Па Форма представления информации Предел относительной погрешности, %
ВИТ-2П ПМИ-2 Ю'МО'1 ПФ ±30,
ВИТ-3 ИМИ-10-2 О іГ о ПФ ±35,
ВИ-12 ИМ-12 2x10^-1,3x10" ПФ ±30,
ВИ-14 ПМИ-27 10'8-102 ПФ ±55,
ВИЦ-9/0-001 ПМИ-55 10'у-1 но ±25,
ВИО-1 ПМИ-39-2 10'-0,1 но ± 10,
РВМ-1М ПММ-22 10‘4-1 но ±80,
ВЭМБ-1 ПММ-28 Ю'-Ю2 ГК ±75,
ВМБ-8 ПММ-32-1 10'7-1 ГК ±80,
ВМБ-14 ПММ-32-1 10-'-1 ГК ±80,
ВМБ-1/8 ПММ-46 о о ГК ±80,