Повышение эффективности времяимпульсных лучевых сканирующих информационно-измерительных систем для контроля геометрических и физических параметров изделий

• Автор: Иванников, Валерий Павлович
• Шифр специальности: 05.11.16
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2001
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 368 с. : ил

ВВЕДЕНИЕ.
ОГЛАВЛЕНИЕ

ГЛАВА 1. Технические и математические средства автоматизации
контроля и управления производством
1.1. Средства компьютеризации производства с применением измерительных информационных систем и технологий
1.2. Лучевые сканирующие системы и оптико-электронные средства получения и преобразования информации
1.3. Применение машинного зрения в измерениях и контроле
1.4. Применение информационных технологий в промышленности
1.5. Постановка задач исследований
ГЛАВА 2. Анализ и синтез оптимальных времяимпульсных измерительных информационных систем на основе лучевого сканирования
2.1. Задача синтеза оптимального прибора с точно и неточно заданными параметрами на основе ЛСС
2.2. Параметры и характеристики средств и систем лучевого сканирования
2.3. Локальность и точность преобразования данных измерений
при лучевом сканировании )
2.4. Информационные характеристики дискретных систем
2.5. Анализ и синтез оптимальных времяимпульсных лучевых сканирующих информационно-измерительных систем
Выводы
ГЛАВА 3. Метод редукции в задачах синтеза лазерных лучевых
сканирующих измерителей геометрических параметров
объектов
3.1. Особенности получения, преобразования и обработки информации при измерениях методом лучевого
сканирования
3.2. Точность измерения пространственных смещений
3.2.1. Случайная погрешность
3.2.2. Погрешность преобразования интервала времени
3.3. Метод редукции в задаче синтеза оптимального устройства измерения смещений при неточно заданной модели измерительно-вычислительной системы
3.4. Автоматизация измерений и технического контроля плоскостности и параллельности направляющих поверхностей технологического оборудования
3.5. Редукция данных измерений при контроле некруглости и диаметров при обработке каландровых валов
бумагоделательных машин
Выводы
ГЛАВА 4. Задача редукции к прибору, удовлетворяющему заданным
требованиям к его параметрам, и синтез оптимальных оптикоэлектронных измерительных преобразователей со случайными
параметрами
4.1.0собенности использования аппаратурных и программных средств полутонового анализа изображений в задачах распознавания машиностроительных деталей
4.2.Информационный анализ и синтез диссекторных систем существенно полутонового анализа гладких поверхностей
4.3.Аппаратурные особенности реализации экспериментальной техники для сбора и обработки визуальной информации

4.4.Инструментальные средства контроля качества нанесения
и пропечатки рисунка обойных машин
4.5,Особенности построения автоматизированных систем
управления процессами изготовления изделий на базе ЛСС
Выводы
ГЛАВА 5. Измерительно-вычислительные системы и средства
автоматизации измерений на основе электронно-лучевого сканирования
5.1. Применение машинного зрения в системах контроля качества и управления процессами изготовления изделий микроэлектронных производств
5.2. Прогнозирование отказов, надежность и дефектоскопия многокомпонентных устройств с высокой степенью
интеграции
5.3. Бесконтактные электронно-лучевые средства контроля материалов, изделий и технологических процессов в микроэлектронике
5.4. Методы и средства автоматизации локальных измерений, экспериментальное оборудование для количественного анализа и отбраковки продукции микроэлектронного производства
Выводы
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА
ПРИЛОЖЕНИЕ
ПРИЛОЖЕНИЕ II

ля; узла коммутации; узла после коммутационного усиления. Накопитель и узел коммутации связаны друг с другом и частично (или полностью) могут быть совмещены.
К основным характеристикам передающих телевизионных ОЭП относятся: свет-сигнал, разрешающая способность, сигнал/шум, контрастная чувствительность, инерционность. Однако большое число переносов заряда, осуществляемое при телевизионной развертке, ухудшает и чувствительность и контрастно-частотную характеристику ТВ-трубок, а необходимость хранения и передачи всего массива информации, накопленного на поверхности кристалла с фоточувствительным слоем, затрудняет создание устройств с большим числом элементов разложения изображения и увеличивает их стоимость [56,57].
В диссекторах, являющихся передающими трубками мгновенного действия, для преобразования световой энергии в электрическую также используется внешний фотоэффект, но в сочетании с электронной оптикой и вторично-электронным умножением фототока. Разработаны диссекторы с диодным и канальным электронным умножением [282] и различными типами сканирования электронного изображения [181]. Разрешающая способность и чувствительность диссектора определяются размером отверстия в диафрагме, которое, в зависимости от назначения системы, делают круглым, квадратным, прямоугольным, крестообразным или другой формы. Чем меньше отверстие, тем больше разрешающая способность, но меньше чувствительность диссектора.
Группа твердотельных полупроводниковых самосканируемых матричных преобразователей изображения (приборов с зарядовой связью - ПЗС) относятся к системам с накоплением заряда, но, по сравнению с телевизионными, камеры на ПЗС имеют более слабые остаточные изображения, более высокое качество преобразования без расфокусировки изображения по краям и геометрических искажений. На работу ПЗС не влияют внешние магнитные и