Исследование влияния конструктивно-технологических параметров на надежность системы резистивных перемычек

• Автор: Бурамбаева, Нурсауле Аманжоловна
• Шифр специальности: 05.11.14
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2005
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 161 с. : ил.

ГЛАВА 1. ПЕРСПЕКТИВЫ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

РЕЗИСТИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ РАЗВИТИЯ МЭМС

1Л .Конструкция и технологии изготовления плавких резистивных перемычек

1.2.Исследование влияния защитной окисной пленки на надежность объектов МЭМС

1.3. Исследование влияния фотошаблонов и фотолитографии на надежность системы перемычек

1.4 Исследование технологии изготовления тонкопленочных резисторов

1.5 Оценка надежности системы плавких перемычек

Выводы
ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ОТКАЗОВ КРЕМНИЕВОЙ СТРУКТУРЫ С ПЕРЕМЫЧКАМИ
2.1. Методика экспериментальных исследований механизмов программирования объектов с перемычками

2.2. Статистический анализ отказов устройств с перемычками

2.3. Исследование конфигурации перемычек
2.4. Расчет температурного поля и термомеханических напряжений в
нихромовых перемычках
Выводы
ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТЕМПЕРАТУРНЫХ ПОЛЕЙ НА
НАДЕЖНОСТНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ УСТРОЙСТВ МЭМС
3.1 Обзор методов теплофизических расчетов пластин с размещенными источниками тепла
3.2.Исследование теплофизических особенностей конструкций объектов
3.3.Расчет температурных полей конструкций объектов с плавкими перемычками
3.4. Исследование кремниевых кристаллов с перемычками в режиме
динамического питания
Выводы
ГЛАВА 4. РАЗРАБОТКА РЕКОМЕНДАЦИЙ ПО ПОВЫШЕНИЮ НАДЕЖНОСТИ СИСТЕМЫ ПЕРЕМЫЧЕК
4.1. Применение метода весовых компонентов для оценки надежности кремниевых кристаллов
4.2. Прогнозирование вероятности безотказной работы кремниевых кристаллов по результатам кратковременных испытаний
4.3. Методы обеспечения надежности кремниевых кристаллов с плавкими
перемычками
Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА

Общие тенденции современного комплексного развития техники и технологии - миниатюризация и интеллектуализация достаточно четко проявляются в микроэлектромеханических системах (МЭМС). В основе этого процесса - реализация тенденций в основных компонентах этой системы -сенсорных, информационно-управляющих и исполнительных (силовых) и их сближение на базе развития общих трехмерных (30) микросистемных технологий. Эти тенденции порождены потребностями основных отраслей машино - и приборостроения, открывая возможности создания наукоемких приборов и устройств нового поколения, в том числе и на существующих элементной базе и технологиях [1,2].
По мнению ученых [3,4,5,6], в настоящее время в России и в мировом научном сообществе имеются все необходимые предпосылки для достижения быстрого успеха в области разработки и производства МЭМС различного функционального назначения. Технологическая поддержка основывается на базовых технологических процессах, традиционно применяемых в микроэлектронике и приборостроении, а развитие этого научно-технического направления позволит решить проблему загрузки простаивающих в настоящее время предприятий электронной промышленности, большинство которых имеет достаточный набор технологического оборудования отечественного производства, вполне пригодного для создания МЭМС [6,7]. В своих работах такие исследователи, как Распопов В.Я., Мальцев П.П., Козлов В.В., Лучинин
В.В., Лурье М.С., и др. отмечают, что при этом «не требуется вести пионерские работы» [8,9,10], а необходимо оптимально использовать имеющийся задел в различных областях науки и техники, включая и микроэлектронные технологии.
Возможность изготовления электромеханических и микроэлектронных компонентов на одной подложке в приборных устройствах открывает перспективу создания систем с более высокой функциональностью. Микронные размеры элементов МЭМС обусловливают использование для их изготовления
Рис.2.4. Программируемость системы плавких перемычек в зависимости от температуры
X *